Trong quá trình nung ở nhiệt độ 90°C, ngay cả sự thay đổi nhiệt độ chỉ 0,3°C cũng có thể khiến độ dày của các đường kẻ trên bề mặt wafer thay đổi. Việc duy trì độ đồng đều về nhiệt độ không phải là điều tùy chọn – đó là yêu cầu bắt buộc.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật Chúng tôi chế tạo chiếc đế đèn bằng gốm này để sử dụng trong các thiết bị sưởi ấm trong quy trình xử lý phim quang học. Ở những môi trường này, việc kiểm soát nhiệt độ rất quan trọng, và số lượng hạt bụi trong phòng sạch cũng cần được kiểm soát chặt chẽ. Các bóng đèn halogen sóng ngắn được đặt trong vỏ gốm có độ tinh khiết cao, giúp tạo ra nhiệt độ ổn định, từ đó đảm bảo độ đồng đều về nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer ở mức ±0,1°C.
Bề mặt gốm có khả năng chống lại hiện tượng thoát khí, và thiết kế của chiếc đế giúp giảm thiểu hiện tượng tạo bóng tối và sự chênh lệch nhiệt độ. Nhờ đó, bạn có thể đạt được độ ổn định về nhiệt độ ngay cả khi hoạt động liên tục 24/7.
Tại sao nó vẫn hoạt động tốt trong môi trường sản xuất Trong các khu vực nung ở nhiệt độ cao, việc kiểm soát nhiệt độ phải phù hợp với độ nhạy của phim quang học và tốc độ xử lý của máy móc. Chiếc đế này giúp duy trì độ ổn định về nhiệt độ, từ đó giúp kiểm soát chính xác các kích thước quan trọng của wafer.
Chiếc đế này phù hợp để sử dụng trong các phòng sạch loại 1–100, với bề mặt và các tiếp xúc không tạo ra hạt bụi. Điều này giúp giảm lượng wafer bị hỏng, giảm chi phí tái xử lý, và giúp lập kế hoạch cho quy trình sản xuất một cách chính xác hơn. Nguồn năng lượng tiêu thụ cũng ở mức hợp lý nhờ vào việc kết nối hiệu quả với buồng xử lý, và tính chất cách nhiệt của gốm giúp giảm những biến động nhiệt độ khi thay đổi công thức xử lý.
Chi tiết kỹ thuật Việc lắp đặt yêu cầu phải đảm bảo sự đối khớp chính xác với khối sưởi ấm, đồng thời đảm bảo rằng bóng đèn được đặt vững chắc – nếu không, sẽ tạo ra những điểm nóng. Gốm rất bền, nhưng lại dễ vỡ. Hãy sử dụng các dụng cụ phù hợp với môi trường phòng sạch để xử lý chiếc đế này, và tránh để nó bị va đập.
Hãy kiểm tra kỹ lưỡng điện áp và khả năng tương thích của các đầu nối với loại bóng đèn mà bạn sử dụng. Đồng thời, hãy đảm bảo rằng nhiệt độ phù hợp với thông số kỹ thuật của phim quang học. Hãy kiểm tra số lượng hạt bụi ngay sau khi lắp đặt, và sau mỗi 250 giờ, để đảm bảo rằng chiếc đế không trở thành nguồn gây ô nhiễm.