Ngăn chặn cơn ác mộng về tình trạng nhiễm bẩn các tấm wafer trong các lò sưởi dùng công nghệ CNT
Nếu bạn từng làm việc trong lĩnh vực chế tạo CNT, bạn chắc hẳn hiểu rõ tình huống này. Khi hoạt động với công suất cao, áp lực lớn, thì chuyện hỏng hóc xảy ra là điều không thể tránh khỏi. Chỉ cần một chiếc đèn hồng ngoại bị hỏng thôi cũng đã gây ra thảm họa. Những mảnh thủy tinh vụn và khí halogen sẽ bay tung tóe, làm hỏng toàn bộ lô sản phẩm. Đó là tình huống mà ai cũng muốn tránh.
Đó chính là lý do tại sao chúng tôi thiết kế các lò sưởi hồng ngoại theo cách này. Chúng tôi muốn ngăn chặn chuỗi sự cố này ngay từ đầu.
Giải quyết vấn đề “mảnh vụn thủy tinh”
Chúng tôi không chỉ dựa vào lớp vỏ thủy tinh mỏng để bảo vệ các bộ phận bên trong. Điều đó chỉ gây ra thêm rắc rối mà thôi. Thay vào đó, chúng tôi sử dụng lớp vỏ bảo vệ bổ sung để giữ các mảnh vụn lại. Hãy coi đó như một lớp “lưới an toàn”. Nếu chiếc đèn bị hỏng do tác động nhiệt, lớp vỏ bảo vệ sẽ giữ lại các mảnh vụn, tránh cho chúng rơi xuống bề mặt wafer. Như vậy, khu vực chế tạo vẫn được giữ sạch sẽ.
Vấn đề về nhiệt độ
Khi hoạt động ở công suất tối đa, việc duy trì độ kín của mối nối giữa sợi dây tóc và lớp thủy tinh trở thành thách thức lớn. Đó chính là nơi mà hầu hết các chiếc đèn bị hỏng. Khi mối nối bị rò rỉ, oxy sẽ xâm nhập vào, khiến sợi dây tóc bị đứt, và cuối cùng chiếc đèn sẽ bị hỏng hoàn toàn.
Để ngăn chặn điều này, chúng tôi sử dụng các nắp bảo vệ cứng. Bằng cách duy trì nhiệt độ ổn định, chiếc đèn có thể hoạt động lâu hơn. Đó là giải pháp đơn giản, nhưng nó giúp tránh được nhiều rắc rối.
Sự hy sinh cần chấp nhận
Thành thật mà nói, việc sử dụng lớp bảo vệ sẽ khiến một phần năng lượng hồng ngoại không thể truyền vào wafer. Có thể sẽ có sự giảm sút khoảng 3–5% về nhiệt độ đến wafer. Nhưng tôi sẵn sàng chấp nhận sự giảm hiệu suất này để tránh việc toàn bộ lô sản phẩm bị hỏng. Đó là cái giá nhỏ để đổi lấy sự yên tâm rằng lô sản phẩm của bạn sẽ không bị hỏng do các mảnh vụn thủy tinh.
Thay thế các bộ phận hỏng
Chúng tôi cũng đảm bảo rằng các bộ phận này dễ dàng thay thế. Khi chiếc đèn bị hỏng, bạn chỉ cần tháo toàn bộ bộ phận đó ra. Bạn không cần lo lắng về việc để lại các mảnh vụn thủy tinh trong buồng chế tạo. Chỉ cần thay thế bằng bộ phận mới, kiểm tra mối nối, và bạn có thể tiếp tục công việc của mình. Hãy đảm bảo rằng hệ thống thông gió hoạt động tốt để loại bỏ các khí còn sót lại. Như vậy, mọi thứ sẽ ổn thôi.