Bu sistemde, fotoresistin pişirilmesi bir tür termal işlemdir. ±0,1°C’lik bir hassasiyet elde etmek gerekiyor; çünkü hatalar, ürünlerin kalitesini bozar ve onları atık haline getirir. Eğer lamba yeterince iyi çalışmazsa, bunun bedelini yeniden işlem yaparak, atık ürünlerle ve plansız duruşlarla ödersiniz. Bu yüzden, tekrarlanabilir bir ısı sağlayacak şekilde SiC lambalarını geliştirdik.
Lamanın merkezi, kısa dalga boylu kızılötesi bir vericidir: Kuvars kaplaması içinde bulunan silikon karbür, hızlı ve stabil bir tepki için optimize edilmiştir. Pişirme bölgesindeki sıcaklık düzeyinin ±0,1°C civarında olmasını hedefliyoruz; parti bazında ise bu değer ±0,5°C civarında kalıyor. Çıktı, hem yumuşak hem de sert pişirme işlemleri için ayarlanabiliyor ve termal kontrol sayesinde enerji tüketimi kontrol altında tutuluyor.
Bu cihaz, temiz oda koşullarına uygun olarak tasarlanmıştır; 1–100 sınıfı ortamlarda kullanılabilir ve parçacık üretmez. Fotoresisti kirletecek herhangi bir gaz salınımı yoktur. 5.000 saatten fazla çalıştığında bile verimlilik kaybı %5’in altındadır; 24/7 çalışacak şekilde tasarlanmıştır.
Litografide bu lamba, eski halojen ve orta dalga boylu sistemlerin yerini alır; herhangi bir ayarlama gerektirmez. Daha hızlı stabilizasyon, daha az enerji tüketimi ve daha düşük maliyet sağlar. Standart fırınlarla uyumlu olup, uluslararası yarı iletken ekipmanlarıyla da entegre edilebilir. Ayrıca, anında kullanıma hazır olan doğrulanmış bir termal profil sunar.
Kurulumu oldukça basittir: Fırının hizalanması ve soğutma akışının kontrolü yeterlidir. Uyumsuz reflektörler veya yetersiz soğutma, termal profilin bozulmasına neden olur. Lambayı kullanmadan önce odanın geometrisini ve güç beslemesini kontrol edin. Uyum sağlandığında, tamamen ideal bir termal kaynak olarak çalışır.