OLED litografi hattında sapmaya yer yoktur. Fotoresist pişirme sırasında yarım derece Celsius bile kritik boyutları kaydırmaya ve tüm maske katmanının hurdaya çıkmasına neden olabilir. Termal bütçeyi gerçek bir proses parametresi olarak ele alan, sonradan düşünülmüş değil, özel bir kurutma lambasına ihtiyacınız var.
Kaputun altında önemli olan
OLED kurutma lambasını kuvars zarflı kısa dalga halojen emitterler etrafında tasarladık. Fotoresiste hızlı rampa yapan NIR ışını verir, ancak yığını yakmadan nüfuz eder. Plaka seviyesinde uniformite, pişirme bölgesi genelinde ±0.1°C içinde kalır; böylece yumuşak pişirme ve sert pişirme profilleri tarifeye uygun şekilde gerçekleşir.
Parçacık kontrollü montaj ve dışarı gaz salmayan malzemeler sayesinde, lamba Class 1–100 temiz oda uyumludur. Bu, lambadan kaynaklanan parçacık katkısını proses spesifikasyonları altında tutar. Sistem, setpoint değerlerini günbegün tekrarlar; böylece aşındırma ve geliştirme bütçelerinizde sapma olmaz.
OLED’de bunun önemi
OLED yığınları ince ve termal olarak hassastır. Fotoresist pişirme sırasında aşırı ısınma, kalıntı, yapışma sorunları ve verim kayıplarına yol açar. Bu lamba hızlı ve sıkı kontrol altında ısıtır; böylece termal bekletme süresi kısalır. Sonuç olarak daha sıkı CD kontrolü ve daha az rastgele kusur elde edilir.
Ayrıca, lamba setpoint değerine hızlıca ulaşır ve minimum salınımla sabit tutar; bu da enerji kullanımını düşürür. 7/24 çalışacak şekilde tasarlanmıştır; bu da plansız duruşları ve pişirme sapmalarında yeniden işleme gereksinimini azaltır.
Planlama için bilinmesi gerekenler
Lamba için litografi cihazının sensörlerini etkilememesi adına özel bir güç hattı ve EMI uyumlu yönlendirme gereklidir. Kendi chuck ve plaka yığınına göre sıcak noktaları haritalamak için kısa bir devreye alma çalışması planlayın, ardından profili kontrol ünitesine kilitleyin.
Hizalandığında sistem, sadece bir ısı kaynağı değil, tekrarlanabilir bir termal modül gibi davranır. Bu, işin özü.