Havanın Isıtılmasını Durdurun: Ozonsuz Kızılötesi Işıklar Neden En İyi Çözüm?
Eğer yarı iletken üretim süreçleriyle ilgileniyorsanız, sıcak hava dolaşım sisteminin ne kadar yavaş çalıştığını biliyorsunuzdur. Aslında, küçük bir wafer’ı belirli bir sıcaklığa getirmek için tüm odayı ısıtmak zorunda kalıyorsunuz. Bu durum, aslında sadece hızlı bir şekilde ısınması gereken bir nesnenin ısınmasını beklemek gibi geliyor.
İşte bu yüzden birçok kişi ozonsuz kızılötesi ışıklara yöneliyor. Hava ısıtılıp parçaya ulaşmasını beklemek yerine, kızılötesi ışıklar doğrudan hedefe ulaşıyor. Bu, radyasyon enerjisidir; dolayısıyla daha etkili bir yöntemdir.
“Bekleme Süresi” Sorunu
Konveksiyon sistemlerinin büyük bir termal ataleti vardır; ısınamaları çok uzun sürer ve soğumaları ise daha da uzun sürer. Yüksek kapasiteli üretim tesislerinde bu kaybedilen dakikalar, aslında işletmenin zararına olan zamanlardır.
Kızılötesi ışıklar bunu değiştiriyor. Neredeyse anında ısı sağlarlar. Böylece ısınma ve soğuma süreleri önemli ölçüde azalır. Böylece her saat daha fazla parça işlenebilir; ekstra makineler almak veya daha fazla ekipman kullanmak gerekmez.
Ozon Sorunu
İşin zor yanı şu: Standart kısa dalga boyundaki kızılötesi ışıklar, dalga boylarının havadaki oksijenle nasıl etkileşime girdiği nedeniyle yanlışlıkla ozon üretebilir. Ozon, temiz kalması gereken yüzeylerde oksidasyona neden olan bir kirleticidir.
Bunu çözmek için, VUV (Vakum Mor Ötesi) dalga boylarını filtreleyen özel kuvars malzemeler ve kaplamalar kullanılır. Böylece ısı korunur, ancak waferleri bozan kimyasallar ortadan kaldırılır. Hız elde edilirken risk de ortadan kalkar.
Tercihler (Çünkü hiçbir şey mükemmel değildir)
Tabii ki her şey mükemmel değil. Konveksiyon fırınlarının sunduğu “sıcaklık dağılımı” avantajı kayboluyor. Kızılötesi ışıkların etkisi doğrudan olduğundan, ışığın her yere eşit şekilde ulaşması için lamba dizilimi ve yansıtıcı açıları dikkatlice ayarlanmalıdır. Ayrıca bu lambalar küçük alanlarda çok fazla ısı ürettiğinden, koruma kabının bu ısıya dayanabilmesi gerekiyor.
Sonuç olarak, kızılötesi ışıklara geçmek sadece sıcaklık konusuyla ilgili değil; aynı zamanda hava işleme süreçlerini azaltarak işleri daha hızlı tamamlamakla da ilgilidir.