Vakum odanızda yemek pişirmeyi bırakın.
Yarı iletken üretim tesislerinde çalışmış herkes bu sorunu bilir: Wafer’ı ısıtmanız gerekir, ancak vakum odanızı bir fırına dönüştürmek istemezsiniz.
Standart kızılötesi lambalar aslında güçlendirilmiş ampullerdir; ısıyı her yöne yayarlar. Vakum ortamında ise bu enerjinin gideceği bir yer yoktur. Enerji, ekipmanın iç duvarlarına çarpar. Kısa süre içinde ekipmanın gövdesi aşırı ısınır ve operatörler yanıklardan kaçınmak zorunda kalır.
Bu durum oldukça kötüdür. Ancak bunun daha iyi bir çözümü vardır.
Isıyı odaklayın, sadece her yere yaymayın.
Bunu çözmek için yönlendirilebilir kızılötesi teknolojisinden yararlanıyoruz. Isının her yere dağılmasını engelleyerek, enerjiyi tam olarak ihtiyaç duyulan yere yönlendiriyoruz.
Bu, büyük bir fark yaratır. Wafer’ın ihtiyaç duyduğu ısı yoğunluğuna ulaşılırken, çevresindeki ekipmanlar soğuk kalır. Artık makineye dokunabilirsiniz ve hastaneye gitme derdi olmaz.
Vakum ortamındaki zorluklar gerçektir.
Odadaki havayı çıkardığınızda fizik kuralları değişir. Konvektif soğutma imkânı kalmaz; bu da lambaların ısısını atamaması anlamına gelir. Lambalar tamamen radyasyon ve özel yansıtıcılar aracılığıyla ısısını atabilirler.
Eğer uygun bir ısı dağıtıcısı veya yansıtıcı olmadan yüksek güçlü halojen lambalar kullanırsanız, bu lambalar hızla bozulur. Termal etkileri azaltmak için kuvars kaplamalar kullanıyoruz; ancak güç kaynağına dikkat etmek gerekiyor. Bu tüpler, soğuk başlangıç sırasında akım değerlerinde ani artışlara neden olabilir.
Daha hızlı işlemler, daha az stres.
“Atık ısıyı” azaltmak sadece güvenlik açısından önemli değildir; aynı zamanda hız açısından da önemlidir. Eğer odanın duvarları ısıyı emmezse, devasa bir radyatör gibi davranmazlar. Bu da sıcaklığı düşürme sürecini hızlandırır. İşlem süreleri kısalır ve verimlilik artar.
Kurulum konusunda bir uyarı: Yüksek sıcaklıkta çalışan kablolar kullanın ve hizalamaya büyük önem verin. Eğer yansıtıcınız iki derece bile saparsa, ısı noktası wafer’in üzerinden kayıp duvara düşer. Ve böylece tekrar başlangıç noktasına dönmüş olursunuz.