Kızılötesi lambaların waferlerinize zarar vermesini engelleyin
Eğer yüksek kapasiteli üretim sırasında bir kızılötesi lambanın patladığını gördüyseniz, bunun ne kadar berbat bir durum olduğunu biliyorsunuzdur. Bu sadece üretimin durması anlamına gelmez.
Kuarzt tüpü patladığında adeta bir cam el bombasına dönüşür. Her yerde parçalar ve metal parçacıkları oluşur; bu da pahalı waferlerinizin kirlenmesine ve ürünlerinizin atık olarak değerlendirilmesine neden olur. Gerçekten berbat bir durum.
Biz, böyle bir durumun yaşanmaması için özel olarak wafer ısıtıcıları geliştirdik.
Termal stresle başa çıkma
Çoğu zaman lambalar, elektriksel dalgalanmalar veya düzensiz termal genişlemeler yüzünden patlar. Buna karşı koymak için yüksek saflıkta sentetik kuarzt kullanıyoruz. Bu malzeme oldukça sağlamdır ve soğuktan aşırı sıcağa geçişlerde bile çatlamaz.
Ayrıca filamanın merkezlenmesine de dikkat ediyoruz. Eğer biraz bile sapma olursa “sıcak noktalar” oluşur ve bu da ciddi sorunlara yol açar.
Bir diğer önemli nokta ise güç kaynağının kontrolüdür. Eğer voltaj düzenli değilse, filaman beklenenden daha erken yanar. Genellikle bu ısıtıcıları hassas PID kontrol cihazlarıyla kullanmanızı öneririz. Bu sayede hedef sıcaklığa ulaşılır ve aşırı ısınma engellenir.
Atıkların waferlere ulaşmasını engelleme
Cam parçacıklarının waferlere yaklaşmasını engellemek için çift katmanlı koruma sistemleri kullanıyoruz. Lambaları genellikle güçlendirilmiş kuarzt kılıflar veya koruyucu kaplar içinde yerleştiriyoruz. Bu sayede bir tüp patladığında parçalar koruyucu kap tarafından tutulur ve felaket önlenir.
Ayrıca contalar konusunda da titiz davranıyoruz. Halogen gazının dışarı sızmasını engellemek için özel kapaklar kullanıyoruz. Bu sayede lambanın içindeki kimyasallar stabil kalır ve daha uzun süre dayanır.
Ayrıca ucuz yapıştırıcılar kullanmadığımızı da belirtmek isteriz. Yüksek sıcaklıklarda bu tür malzemeler gaz salar ve waferler üzerinde sisli bir tabaka oluşur; bu da ince film tabakalarının oluşmasını engeller. Hiç hoş bir durum değil.
Tercihler ve zorluklar
Yüksek yoğunluklu kızılötesi ısıtıcılar hızlı ısınma için mükemmeldir, ancak çok fazla ısı yayılır. Soğutma fanları ve ısı emicilerinin doğru şekilde ayarlanması gerekir. Eğer kutu çok ısınırsa, montaj braketleri deform olabilir. Bu durumda odak noktası değişir ve waferler üzerinde eşit olmayan ısı dağılımı meydana gelir. Her şey dengede olmalıdır.