ในขั้นตอนการผลิตด้วยเทคโนโลยีลิโธกราฟี การอบด้วยอุณหภูมิ 90°C ซึ่งมีความแปรปรวนเพียง 0.3°C เท่านั้น ก็สามารถทำให้ความหนาของเส้นบนผิว wafer เปลี่ยนแปลงได้ ดังนั้น ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิจึงไม่ใช่เรื่องที่สามารถเลือกได้ แต่เป็นข้อกำหนดที่จำเป็นต้องปฏิบัติตาม
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราออกแบบตัวจับหลอดไฟชนิดเซรามิกนี้ขึ้นมาเพื่อใช้กับเครื่องอุ่นในกระบวนการผลิตโฟโตรีซิสต์ โดยเฉพาะในสภาพแวดล้อมที่มีข้อจำกัดด้านอุณหภูมิสูง และมีความสะอาดของอากาศที่สูงมาก หลอดไฟฮาโลเจนแบบคลื่นสั้นจะถูกบรรจุอยู่ในตัวเซรามิกที่มีความบริสุทธิ์สูง ซึ่งช่วยให้มีการแผ่รังสีความร้อนที่สม่ำเสมอ ทำให้อุณหภูมิบนผิว wafer อยู่ในช่วง ±0.1°C
ตัวเซรามิกมีความทนทานต่อการปล่อยก๊าซออกมา และรูปร่างของตัวจับหลอดไฟก็ถูกออกแบบมาเพื่อลดปัญหาการเกิดเงาและความแตกต่างของอุณหภูมิ ดังนั้นจึงสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างสม่ำเสมอ แม้จะทำงานต่อเนื่อง 24/7 ก็ตาม
เหตุใดจึงเหมาะสำหรับการใช้งานในโรงงานผลิต ในสถานีการอบแบบอ่อนและแบบแข็ง การควบคุมอุณหภูมิจำเป็นต้องสอดคล้องกับความไวของโฟโตรีซิสต์และความเร็วในการผลิต ตัวจับหลอดไฟนี้ช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ทำให้สามารถควบคุมขนาดของ wafer ได้อย่างสม่ำเสมอในแต่ละชุดผลิต
ตัวจับหลอดไฟนี้เหมาะสำหรับการใช้งานในห้องที่มีความสะอาดระดับ Class 1–100 เนื่องจากมีพื้นผิวและรอยต่อที่ไม่ก่อให้เกิดฝุ่น สิ่งนี้ช่วยลดปัญหา wafer ที่เสียหาย ลดการแก้ไขผลิตภัณฑ์ และช่วยให้สามารถวางแผนเวลาการผลิตได้อย่างมีประสิทธิภาพ นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็อยู่ในระดับที่เหมาะสม เนื่องจากมีการเชื่อมต่อกับห้องปฏิบัติการได้อย่างมีประสิทธิภาพ และคุณสมบัติทางความร้อนของเซรามิกก็ช่วยให้อุณหภูมิคงที่เมื่อมีการเปลี่ยนสูตรการผลิต
รายละเอียดการติดตั้ง การติดตั้งตัวจับหลอดไฟนี้ต้องมีการปรับตำแหน่งให้ตรงกับบล็อกเครื่องอุ่นอย่างแม่นยำ และต้องให้แน่ใจว่าหลอดไฟอยู่ในตำแหน่งที่ถูกต้อง เพราะมิฉะนั้นจะเกิดจุดร้อนขึ้นได้ เซรามิกมีความทนทาน แต่ก็เปราะง่าย ดังนั้นควรจัดการกับมันด้วยอุปกรณ์ที่เหมาะสมในห้องที่มีความสะอาดสูง และควรหลีกเลี่ยงการกระแทกทางกลด้วย
ควรตรวจสอบแรงดันไฟฟ้าและความเข้ากันได้ของตัวเชื่อมต่อกับรุ่นของเครื่องอุ่นด้วย และต้องแน่ใจว่าอุณหภูมิที่เหมาะสมสอดคล้องกับคุณสมบัติของโฟโตรีซิสต์ ควรตรวจสอบจำนวนฝุ่นหลังจากการติดตั้ง และทุกๆ 250 ชั่วโมง เพื่อให้แน่ใจว่าตัวจับหลอดไฟไม่ก่อให้เกิดมลพิษ