ในกระบวนการอบวัสดุโฟโตรีซิสต์นั้น การควบคุมอุณหภูมิถือเป็นสิ่งสำคัญมาก คุณต้องพยายามรักษาอุณหภูมิให้อยู่ที่ ±0.1°C เพราะหากอุณหภูมิเพี้ยนไป ก็จะส่งผลให้ขอบเขตการทำงานของวัสดุเปลี่ยนไป และทำให้วัสดุเหล่านั้นกลายเป็นขยะไปเลย หากหลอดไฟที่ใช้ไม่สามารถทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ ก็จะส่งผลให้เกิดค่าใช้จ่ายเพิ่มขึ้น เช่น ค่าใช้จ่ายในการปรับแก้ผลิตภัณฑ์ ค่าใช้จ่ายในการทิ้งวัสดุที่เสียหาย และค่าใช้จ่ายในการหยุดการผลิตโดยไม่ได้วางแผนไว้ เราจึงออกแบบหลอดไฟ SiC ขึ้นมาเพื่อให้สามารถทำงานได้อย่างต่อเนื่องตลอดเวลา โดยมีความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ
ส่วนประกอบหลักของหลอดไฟนี้คือเครื่องกำเนิดรังสีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น ซึ่งเป็นสารซิลิคอนคาร์ไบด์ที่อยู่ภายในเปลือกควอตซ์ โดยมีการปรับแต่งให้มีการตอบสนองที่รวดเร็วและแม่นยำ เรามุ่งเน้นให้อุณหภูมิในบริเวณที่ใช้อบวัสดุมีความสม่ำเสมออยู่ที่ ±0.1°C ส่วนความแม่นยำระหว่างชุดผลิตภัณฑ์ต่างๆ ก็อยู่ที่ ±0.5°C นอกจากนี้ ยังสามารถปรับอุณหภูมิได้ตามความต้องการ โดยมีระบบควบคุมอุณหภูมิที่ช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ
หลอดไฟนี้สามารถใช้งานได้ในสภาพแวดล้อมที่มีความสะอาดสูง โดยออกแบบมาให้เหมาะสมกับสภาพแวดล้อมระดับ Class 1–100 และไม่ก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ ออกมา ไม่มีการปล่อยก๊าซออกมาที่จะทำให้โฟโตรีซิสต์เสียหาย เราเคยเห็นหลอดไฟนี้ทำงานได้นานกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการลดลงของประสิทธิภาพการทำงานน้อยกว่า 5% เท่านั้น หลอดไฟนี้สามารถใช้งานได้ตลอด 24 ชั่วโมง
ในกระบวนการลิโธกราฟี หลอดไฟนี้สามารถมาแทนที่ระบบฮาโลเจนหรือระบบความยาวคลื่นกลางได้โดยไม่จำเป็นต้องปรับสูตรการผลิตใดๆ หลอดไฟนี้ช่วยให้อุณหภูมิสามารถควบคุมได้อย่างรวดเร็ว ลดการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิระหว่างการอบ และช่วยลดการใช้พลังงานต่อวัสดุหนึ่งชิ้นด้วย หลอดไฟนี้สามารถติดตั้งได้กับเตาอบมาตรฐาน และสามารถเชื่อมต่อกับอุปกรณ์ semiconductors ระดับสากลได้ นอกจากนี้ ยังมีคุณสมบัติที่สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ทำให้สามารถนำไปใช้งานได้ทันที
การติดตั้งหลอดไฟนี้ก็ง่ายมาก เพียงแค่ปรับตำแหน่งของเตาอบให้เหมาะสม และควบคุมการไหลของน้ำที่ใช้ระบายความร้อนให้เหมาะสม หากตำแหน่งของอุปกรณ์สะท้อนแสงไม่ถูกต้อง หรือการระบายความร้อนไม่เพียงพอ ก็จะส่งผลให้อุณหภูมิเพี้ยนไป ดังนั้นควรตรวจสอบรูปร่างของเตาอบและการจ่ายพลังงานก่อนที่จะเปิดใช้งานหลอดไฟ เมื่อทุกอย่างถูกปรับให้เหมาะสมแล้ว หลอดไฟนี้ก็จะทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยมีความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิตรงตามความต้องการ