웨이퍼 처리 과정에서 적절한 열 흐름을 확보하는 방법
팹에서 에너지를 낭비하는 것은 단순히 비용 문제가 아니라, 그 자체가 실패입니다. 팹의 램프를 켰을 때, 모든 와트의 전력이 반드시 웨이퍼 표면에 도달해야 합니다. 전력이 방 안에 흩어지거나 천장을 가열하는 것은 원하지 않습니다.
이를 위해 우리는 고순도 석영 유리로 만든 보호막과 금으로 코팅된 반사체를 함께 사용합니다.
왜 금일까요?
대부분의 반사체는 에너지를 흩뿌릴 뿐입니다. 하지만 금은 적외선에 있어서는 훌륭한 성능을 보입니다. 금 코팅은 열이 램프의 내부로 새어 나가는 것을 막고, 그 적외선 파동을 다시 목표물 쪽으로 반사시킵니다. 이로 인해 넓고 흩어진 방사 패턴이 좁고 집중된 광선으로 변합니다. 가장 좋은 점은, 전압을 높이거나 시스템에 부담을 주지 않고도 훨씬 높은 열 밀도를 얻을 수 있다는 것입니다.
석영의 역할
그 다음으로 석영 유리가 있습니다. 이 재질은 열 충격에 강하기 때문에 보호막으로 사용됩니다. 대부분의 재료는 램프가 최고 온도에 도달하자마자 변형되거나 부서집니다. 하지만 석영은 그렇지 않습니다. 석영은 필라멘트를 안전하게 보호해주면서도 짧은 파장의 적외선은 그대로 통과시킵니다.
단점
물론 이 방식은 매우 효율적이지만, 관리가 조금 까다롭습니다. 금은 깨끗함을 요구합니다. 팹에 먼지나 유기물 증기가 있으면 금 코팅이 빠르게 오염됩니다. 오염되면 반사율이 떨어지고 웨이퍼의 온도도 변동하게 됩니다. 일관된 성능을 유지하려면 청소 일정을 철저히 지켜야 합니다. 타협할 여지가 없습니다.
실제 적용 방법
실제로 이 장비를 시스템에 연결할 때는 냉각 팬을 꼭 확인해야 합니다. 많은 에너지가 웨이퍼로 전달되기 때문에 램프의 외부는 비교적 시원하지만, 초점 부분은 매우 뜨거워집니다. 보호막의 위치가 조금이라도 틀어지면 웨이퍼에 과열된 부분이 생깁니다. 정확한 위치를 맞추면, 한 번의 처리당 소비되는 에너지가 급격히 줄어듭니다. 정말 효과적입니다.