이제는 귀중한 장비를 오븐으로 만드는 것을 그만두세요.
일반적인 대류식 건조 방식은 결국 장비의 내부 전체를 거대한 토스터처럼 만들어버립니다.
그 이유는 공기를 가열하기 때문입니다. 공기가 가열되면 내부 벽까지 함께 뜨거워집니다. 이는 엉망진창인 상황입니다. 비싼 장비들이 과열되고, 작업자들은 기계 근처에 갈 때마다 “뜨거운 부품을 만지지 말라”는 규칙을 지켜야 합니다.
우리는 공기와 싸우는 대신, 방향성 적외선 발열 방식을 사용하기로 결정했습니다.
핵심은 방향입니다.
마치 손전등과 같다고 생각하면 됩니다. 적외선 램프는 전자기파를 직선으로 방출합니다. 에너지는 그냥 허공에 머물러 있지 않고, 웨이퍼나 기판에 닿았을 때만 전달됩니다.
이렇게 하면 열이 정확히 작업물에만 전달됩니다. 더 이상 장비 내부가 불필요하게 에너지를 흡수하는 일도 없습니다.
열 부하 줄이기
우리는 단파 적외선 램프를 사용하여 표면의 수분을 빠르게 제거합니다. 방사선은 방 전체를 먼저 가열할 필요 없이 바로 액체층으로 들어갑니다.
이렇게 하면 열 부하가 줄어듭니다. 게다가, 냉각 팬도 마침내 휴식을 취할 수 있습니다. 더 이상 전자 부품이 과열되는 것을 막기 위해 팬을 최대 성능으로 돌릴 필요가 없습니다.
단점(항상 있다!)
방향성 발열 방식은 정밀도가 중요합니다.
램프의 각도가 조금만 틀어져도 웨이퍼 대신 챔버의 벽이 가열될 수 있습니다. 그래서 장착 브라켓은 반드시 흔들림 없이 견고해야 합니다.
또한, 고강도 램프의 머리 부분은 매우 뜨거워집니다. 그래서 하우징을 위한 별도의 냉각 시스템이 필요합니다. 그렇지 않으면 열應力으로 인해 석영 튜브가 깨질 수 있습니다.
더 안전한 작업 방법
벽면이 시원하게 유지된다면 모든 사람에게 좋은 결과가 됩니다.
유지보수나 웨이퍼 세척 시 접촉으로 인한 화상 걱정도 없습니다. 에너지는 정확히 원하는 곳, 즉 제품에만 전달되고, 장비 자체는 영향을 받지 않습니다.