MEMSセンサーワイヤー乾燥ヒーター

MEMSウェハを面倒なく乾燥させる方法 MEMSセンサーを製造する際、最も避けたいのが、わずかな水分や溶剤の汚れがウェハを台無しにしてしまうことです。しかし、単に熱を当てるだけでは材料に負担がかかり、残留物が残ってしまいます。 そのため、私たちは短波赤外線ヒーターを利用します。赤外線は、ウェハ周辺...