Fermate le vostre lampade a infrarossi dal rovinare i vostri wafer
Se mai vi è capitato che una lampada a infrarossi si rompesse durante una fase di produzione intensiva, sapete bene che si tratta di un vero disastro. Non si tratta soltanto di tempi di fermo per riparazioni… Quando un tubo di quarzo si rompe, diventa praticamente una “granata di vetro”. Si creano schegge e pezzi metallici ovunque, il che significa che i vostri costosi wafer vengono contaminati e devono essere distrutti. È davvero un disastro.
Noi costruiamo i nostri riscaldatori per wafer appositamente per evitare che ciò accada.
Affrontare lo stress termico
Nella maggior parte dei casi, le lampade si rompono a causa di picchi di tensione elettrica o di una dilatazione termica irregolare. Per combattere questo problema, utilizziamo quarzo sintetico di alta purezza. È molto resistente: riesce a sopportare gli sbalzi termici senza rompersi.
Prestiamo anche molta attenzione al centramento del filamento. Se è anche solo leggermente fuori posizione, si creano delle zone troppo calde. Questo può causare danni ai wafer.
Un’altra cosa importante: tenete d’occhio la fonte di alimentazione. Se la tensione varia troppo, il filamento si brucerà molto prima del previsto. Di solito consigliamo di abbinare questi riscaldatori a controllatori PID precisi, in modo da mantenere una temperatura costante e evitare sovracooling.
Evitare che i detriti arrivino nei wafer
Per assicurarci che i frammenti di vetro non possano mai raggiungere i wafer, utilizziamo una doppia barriera di protezione. Di solito inseriamo le lampade all’interno di guaine di quarzo rinforzate o di scudi protettivi. Pensateli come una sorta di “rete di sicurezza”. Se un tubo dovesse rompersi, lo scudo catturerà i detriti prima che possano causare danni.
Inoltre, non trascuriamo i sigilli. Utilizziamo elementi speciali per evitare che il gas alcalino fuoriesca. Questo mantiene stabile la chimica all’interno della lampada, permettendole di funzionare per più tempo.
Inoltre, non utilizziamo adesivi economici: ad alte temperature, questi adesivi “emettono gas”, lasciando residui che possono danneggiare i wafer. Non è certo un bel risultato.
I compromessi
Il problema è che i riscaldatori a infrarossi ad alta densità sono ottimi per raggiungere velocemente la temperatura desiderata, ma producono molta calore. Bisogna quindi gestire correttamente i ventilatori di raffreddamento e i dissipatori di calore. Se la struttura diventa troppo calda, i supporti di montaggio possono deformarsi. In tal caso, il punto focale cambia, e si crea una distribuzione irregolare del calore sui wafer.
Si tratta quindi di trovare un equilibrio.