Mendapatkan lebih banyak panas di tempat yang benar-benar diperlukan
Ketika Anda bekerja dalam kondisi vakum, Anda sebenarnya sedang berjuang melawan hukum fisika. Anda tidak bisa mengandalkan udara untuk mengalirkan panas—proses konveksi tidak akan terjadi. Yang tersisa hanyalah radiasi, dan di sinilah masalahnya muncul.
Setiap satuan energi yang tidak sampai ke wafer tersebut merupakan panas yang terbuang sia-sia. Hal ini tentu merepotkan, karena chiller dan pompa vakum harus bekerja keras untuk menghilangkan panas tersebut. Untuk menghindari pemborosan energi ini, kami mulai menggunakan reflektor berlapis emas pada Pemanas inframerah kami.
Mengapa emas?
Kebanyakan orang memilih aluminium sebagai bahan reflektor, tetapi kenyataannya, aluminium membiarkan terlalu banyak energi inframerah lolos begitu saja. Emas berbeda. Emas memiliki kemampuan reflektivitas yang sangat tinggi terhadap gelombang inframerah panjang.
Bayangkanlah emas sebagai cermin berkualitas tinggi. Alih-alih memancarkan panas ke segala arah seperti bola lampu biasa, emas akan mengarahkan seluruh energi tersebut langsung ke wafer. Dengan demikian, suhu target dapat dicapai lebih cepat, tanpa perlu menaikkan daya pemanas.
Masalah dalam kondisi vakum
Masalahnya adalah, dalam kondisi vakum, tabung lampu seolah-olah berada di sebuah “pulau”. Tabung tersebut tidak bisa “bernapas” atau melepaskan panas ke udara. Jika Anda memberikan daya yang besar ke area kecil tersebut, filamen tabung lampu akan rusak atau kristal kuarsanya akan pecah. Itu bukan situasi yang baik.
Kami mengatasi masalah ini dengan menyesuaikan bentuk reflektor. Tujuannya bukan untuk membuat tabung lampu menjadi lebih panas—itu justru akan merusaknya. Tujuannya adalah untuk mengalokasikan energi secara lebih efisien. Dengan demikian, tabung lampu tetap dingin dan aman, sementara wafer tetap mendapatkan panas yang diperlukan.
Kelemahan penggunaan emas
Saya tidak akan mengatakan bahwa emas merupakan solusi ajaib. Harganya memang lebih mahal. Biaya bahan baku pun akan meningkat. Selain itu, emas juga sensitif. Jika ruang kerja Anda memiliki masalah terkait gas yang terlepas atau kotoran yang menumpuk, partikel-partikel tersebut akan menempel pada permukaan emas. Ketika lapisan emas menjadi keruh, kemampuan refleksinya akan menurun, sehingga pemanasan menjadi tidak merata.
Jika Anda ingin metode ini berhasil, Anda perlu memastikan bahwa ruang kerja Anda bersih dan bebas dari kotoran. Jaga emas tetap bersih, maka proses pemanasan akan berjalan lebih cepat.