MEMS वेफरों को बिना किसी परेशानी के सूखाना
जब आप MEMS सेंसर बना रहे होते हैं, तो आपको सबसे ज्यादा चाहिए कि वेफरों पर कोई भी नमी या घुलनशील पदार्थ न लगे। लेकिन आप उन वेफरों पर बस गर्मी लगाकर उन्हें सूखा नहीं सकते… क्योंकि ऐसा करने से सामग्री पर दबाव पड़ेगा, और वेफरों पर अवशेष बच जाएंगे।
इसीलिए हम शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड (IR) हीटरों का उपयोग करते हैं। IR हीटर, वेफर के चारों ओर की हवा को गर्म करने के बजाय, सीधे ही सामग्री में ऊर्जा भेजता है। यह एक सरल एवं प्रभावी तरीका है… कोई रासायनिक कारकों की आवश्यकता नहीं है।
यह कैसे काम करता है?
इसे एक लक्षित हमले के रूप में समझें… हीटर से निकलने वाले फोटॉन, पानी के अणुओं द्वारा अवशोषित हो जाते हैं… जिससे तरल पदार्थ तुरंत ही वाष्पित हो जाता है।
सबसे अच्छी बात यह है कि यहाँ कोई हवा ही नहीं है… यदि आपने कभी क्लीन रूम में काम किया है, तो आपको पता होगा कि हवा, धूल एवं कणों को फैलाने में मदद करती है… IR हीटर में ऐसी समस्या ही नहीं है। आपको किसी खतरनाक पदार्थ या सीसा-आधारित उपकरणों की आवश्यकता ही नहीं है… बस गर्मी ही पर्याप्त है।
ऊर्जा की बचत…
यह वाकई बहुत ही अच्छा है… आपको उन बड़े थर्मल चैंबरों की आवश्यकता ही नहीं है… जिनमें वेफरों को गर्म करने में एक घंटा लग जाता है… IR हीटरों के उपयोग से कुछ ही सेकंडों में ही वेफर गर्म हो जाते हैं… इससे बिजली की लागत में भी काफी कमी आती है… साथ ही, रासायनिक पदार्थों के उपयोग से होने वाले वायु प्रदूषण से भी छुटकारा मिल जाता है… यह वाकई एक स्वच्छ तरीका है।
कुछ कमियाँ…
लेकिन यह कोई जादू नहीं है… इसमें भी कुछ कमियाँ हैं… IR हीटर केवल दृष्टि-रेखा में ही काम करता है… यदि वेफरों का आकार अजीब है, तो कुछ जगहों पर गर्मी ही नहीं पहुँच पाती… ऐसी स्थितियों में आपको अपने हीटरों की व्यवस्था को ठीक करना होगा… अगर आप केवल ऊर्जा बढ़ाकर ही समस्या को हल करने की कोशिश करेंगे, तो वेफरों के किनारे खराब हो सकते हैं… इसलिए इसके लिए थोड़ी योजना आवश्यक है।
हमने ऐसे ही सिस्टम डिज़ाइन किए हैं… जिन्हें आप अपने पुराने, अधिक ऊर्जा खपत करने वाले उपकरणों की जगह पर लगा सकते हैं… बस एक बात ध्यान रखें… आपके पावर सप्लाई में शुरुआत में आने वाले ऊर्जा-भार को संभालने की क्षमता होनी चाहिए… एक बार ये हीटर काम करने लगें, तो सब कुछ ठीक हो जाएगा।