स्मार्ट फैब में थर्मल डेटा प्राप्त करना
यदि आप एक स्मार्ट फैब बना रहे हैं, तो सबसे पहले आपको कॉन्टैक्ट सेंसरों का उपयोग बंद कर देना होगा। वाकई।
उच्च-क्षमता वाले वेफर प्रोसेसिंग उपकरणों में ऐसे सेंसरों का उपयोग करना संभव ही नहीं है… क्योंकि ऐसे सेंसरों के कारण देरी होती है। इसके अलावा, भौतिक सेंसरों का उपयोग करने से संदूषण होने का खतरा भी रहता है। इसीलिए हम इन्फ्रारेड (IR) सिस्टमों का उपयोग करते हैं… ऐसे सिस्टमों की मदद से आप वेफर को छूे बिना ही वास्तविक समय में थर्मल डेटा प्राप्त कर सकते हैं… और यह डेटा सीधे PLC/SCADA में भेजा जाता है।
हम IR का उपयोग क्यों करते हैं?
वेफर प्रोसेसिंग में एकरूपता बहुत महत्वपूर्ण है… यदि 300 मिमी की सतह पर कुछ डिग्री का अंतर हो, तो पूरा बैच बर्बाद हो जाता है।
IR सेंसर, सतह से आने वाले विकिरण को पकड़कर तुरंत तापमान का माप देते हैं… सबसे अच्छी बात यह है कि ऐसे सेंसरों में कोई “थर्मल मास” नहीं होता… जिससे तापमान में वृद्धि हो सके… थर्मोकपलों के विपरीत, IR सेंसर तुरंत ही तापमान का माप देते हैं।
यह बहुत ही तेज़ है… इसका मतलब है कि आपका कंट्रोल सिस्टम, तापमान में वृद्धि होने से पहले ही उसे पहचान सकता है।
डेटा को वास्तव में उपयोगी बनाना
सेंसर तो अच्छा है… लेकिन यह तो सिर्फ़ शुरुआत है… वास्तव में स्मार्ट सिस्टम बनाने हेतु आपको उस डेटा को आगे भेजने की आवश्यकता है…
हम ऐसे सिस्टमों को ऐसे ही व्यवस्थित करते हैं कि वे डिजिटल सिग्नल उत्पन्न करें… जो इंडस्ट्री 4.0 के वर्कफ्लो में आसानी से उपयोग में आ सकें… इस तरह आपको हर वेफर के थर्मल प्रोफाइल का लगातार रिकॉर्ड मिल जाता है… यह रखरखाव हेतु बहुत ही उपयोगी है… आप देख सकते हैं कि हीटिंग एलिमेंट्स का तापमान कैसे बढ़ रहा है… और उन्हें ठीक समय पर बदल सकते हैं।
चुनौतियाँ… (क्योंकि कुछ भी परफेक्ट नहीं है)
IR सिस्टम भी कोई जादुई समाधान नहीं है… आपको एमिसिविटी का ध्यान रखना होगा… यदि प्रक्रिया के दौरान सतह की परावर्तन क्षमता में परिवर्तन हो जाए, तो आपके मापन में त्रुटि हो जाएगी… आपको उस विशेष सामग्री के लिए सेंसर को कैलिब्रेट करना होगा… वरना आपको झूठे आंकड़े ही मिलेंगे…
इसके अलावा, लाइन-ऑफ-साइट की समस्या भी है… यदि लेंस पर कोई अवशेष जम जाए, तो यह सिग्नल को रोक देगा… ऐसी स्थिति में आपके आंकड़े गलत हो जाएंगे… समाधान बहुत ही सरल है… अपने पर्ज गैस के प्रवाह को ठीक रखें… लेंस को साफ रखें… तभी ही सब कुछ ठीक रहेगा।