Comment maintenir une salle propre de classe 100 vraiment propre
Lorsque vous travaillez dans un environnement de classe 100, la dernière chose dont vous avez besoin, c’est que votre système de chauffage fonctionne comme une machine à confettis. La plupart des boîtiers de chauffage standards sont un vrai cauchemar : une fois chauffés, ils commencent à se détacher ou à émettre des gaz volatils organiques. C’est invisible, mais cela ruine tout. Nous avons trouvé une solution en nous concentrant sur deux éléments : des lampes en quartz de haute pureté et du matériel en acier inoxydable sur mesure.
Pourquoi utilisons-nous du quartz synthétique fusionné ?
Pensez-y comme étant l’or standard pour le chauffage. Contrairement au verre bon marché utilisé dans les chauffages ordinaires, ce matériau ne se détériore pas ni ne libère de particules microscopiques lorsque la température augmente. Aucune poussière ne s’accumule sur vos wafer, ni aucune particule inattendue sur vos substrats. De plus, étant donné qu’il s’agit de chaleur infrarouge, l’énergie atteint directement sa cible. Il n’est pas nécessaire d’aérer fortement la pièce, ce qui signifie que vous ne déplacez pas la poussière d’un coin à l’autre.
La qualité de fabrication (là où la plupart des gens font des erreurs)
Généralement, c’est le boîtier qui pose problème. Nous fabriquons nos boîtiers en acier inoxydable 316L, que nous polissons jusqu’à obtenir une surface miroir. Pourquoi ? Parce que les pores du métal agissent comme de petits “hôtels” pour la poussière. Nous interdisons également l’utilisation de colle ou de joints bon marché. Tout est soudé par soudure TIG et passivé. C’est donc un système propre et non réactif. Nous utilisons même des connecteurs spéciaux afin que les points de connexion ne s’oxydent pas et ne laissent pas de résidus conducteurs derrière eux.
Quelques points importants à vérifier
Le quartz de haute pureté est fragile. Il peut supporter de grandes variations de température, mais s’il est heurté avec une clé ? Il est fichu. Lorsque vous conçoissez les supports, assurez-vous qu’il n’y ait aucun contact entre le métal et le quartz. Nous utilisons des isolants en PTFE ou en céramique pour permettre à la lampe de “flotter”. C’est la seule façon de la protéger. Une dernière chose : le chauffage infrarouge est très intense. Il génère beaucoup de chaleur localement en peu de temps. Si vous ne configurez pas correctement le système de ventilation ou de refroidissement, votre châssis risque de se déformer. Vérifiez bien le flux d’air avant d’allumer le système.