Arrêtez de chauffer votre chambre à vide !
Tout ceux qui ont travaillé dans des usines de semi-conducteurs connaissent ce problème : il est nécessaire de chauffer la wafer, mais on ne veut pas transformer la chambre à vide en four. Les lampes infrarouges classiques fonctionnent comme des ampoules, mais elles émettent de la chaleur dans toutes les directions. Dans un environnement à vide, cette énergie n’a nulle part où aller ; elle se heurte simplement aux parois intérieures de l’équipement. En peu de temps, l’équipement surchauffe, et les opérateurs risquent de se brûler. C’est vraiment un problème. Mais il existe une meilleure solution.
Concentrez la chaleur, plutôt que de la disperser partout.
Nous utilisons de la technologie infrarouge directionnelle pour résoudre ce problème. Au lieu de laisser la chaleur se répandre partout, nous utilisons des réflecteurs et des émetteurs spéciaux pour diriger l’énergie exactement là où elle est nécessaire : sur la wafer. Cela fait une grande différence : vous obtenez toute la chaleur dont la wafer a besoin, mais les composants autour restent froids. Vous pouvez même toucher l’équipement sans craindre de vous brûler.
Le problème du vide est réel.
La physique change lorsque l’air est retiré de la pièce. On perd alors le refroidissement par convection, ce qui signifie que les lampes ne peuvent plus “respirer”. Elles dépendent entièrement de la radiation et des réflecteurs pour se refroidir. Si vous utilisez simplement une lampe halogène à haute puissance, sans dissipateur thermique ou réflecteur adapté, cette lampe s’éteindra rapidement. Nous utilisons des enveloppes en quartz pour absorber l’énergie thermique, mais il faut surveiller l’alimentation électrique. Ces tubes ont tendance à augmenter fortement le courant lors du démarrage.
Des cycles plus rapides, moins de stress.
Réduire la quantité de chaleur inutile n’est pas seulement une question de sécurité : c’est aussi une question de vitesse. Lorsque les parois de la chambre à vide ne absorbent plus de chaleur, elles cessent de fonctionner comme de gigantesques radiateurs. Cela signifie que lorsque vient le moment de baisser la température, on n’a plus à attendre que le métal se refroidisse. Les temps de cycle diminuent, et la productivité augmente.
Un conseil pour l’installation : utilisez des fils résistants à haute température, et soyez très précis dans l’alignement des éléments. Si le réflecteur n’est pas parfaitement aligné, même de deux degrés, le point chaud se déplace et touche à nouveau les parois de la chambre à vide. Et alors, on revient au point de départ.