جلوگیری از آسیب به ویفرها توسط تکههای شیشه
در کارخانههای تولید نیمههادی، خراب شدن لامپها مشکلی ساده نیست؛ بلکه یک فاجعه است.
وقتی لامپ IR خراب میشود، تکههای کوارتز و گاز هالوژن روی ویفرها میافتند. با یک انفجار کوچک، کل محموله از بین میرود. ما زمان زیادی را صرف فکر کردن درباره نحوه جلوگیری از این اتفاق کردهایم؛ با تمرکز بر مواد استفاده شده و نحوه متصل شدن لامپها.
موادی که استفاده میکنیم
ما از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا برای ساخت پوشش لامپها استفاده میکنیم. چرا؟ چون این ماده میتواند در برابر گرمایش و سرمایش ناگهانی مقاومت کند.
اما ما فقط به همین موضوع اکتفا نکردیم؛ یک پوشش محافظ یا لایه نازکی نیز اضافه کردیم. این پوشش مانند یک تور محافظ عمل میکند؛ اگر فیلامنت لامپ خراب شود، این پوشش مانع از پرت شدن تکههای شیشه به سمت ویفرها میشود.
مشکلات مربوط به گرما
برای رساندن ویفرها به دمای مناسب، به توان بالایی نیاز است. اما مشکل اینجاست که اگر توان زیادی به یک فضای کوچک وارد شود، «نقاط گرم» ایجاد میشود.
ما ولتاژ و توان را به گونهای تنظیم میکنیم که گرما به طور یکنواخت در سراسر لامپ پخش شود. تنها نکته مهم این است که اگر از توان کامل استفاده کنید، سیستم خنککننده باید کاملاً عالی عمل کند؛ در غیر این صورت، درزهای الکترودها میتوانند آسیب ببینند و این موضوع میتواند منجر به انفجار لامپ شود.
تنظیم صحیح اتصالات
همچنین، مسئله اتصالات نیز وجود دارد. ما از اتصالات دقیق استفاده میکنیم؛ چون جریان الکتریکی میتواند مشکلات جدی ایجاد کند. با استفاده از اتصالات دقیق، میتوانیم فشار مکانیکی وارد شده به انتهای لامپ را کاهش دهیم.
به این ترتیب، منبع گرمایی قابل اعتمادی در اختیار خواهید داشت. البته، همچنان باید به نگهداری سیستم خنککننده توجه کنید؛ اما این روش میتواند خطرات ناشی از خرابی لامپ را کاهش دهد.