حفظ ایمنی در فرآیندهای مرطوب با استفاده از لامپهای مادون قرمز پوشیده شده با طلا
هنگامی که با مواد شیمیایی مورد استفاده در تمیزکاری نیمههادیها کار میکنید، در واقع در حال کار با حلالهای فرار و قابل اشتعال هستید. این یک محیط بسیار خطرناک است. اگر از لامپ مادون قرمز معمولی استفاده کنید، در واقع در حال دعوت به بروز آتشسوزی هستید.
به همین دلیل، از لامپهای کوارتز پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم؛ این لامپها دارای سیستم ضدنشت بسیار خوبی هستند. این سیستم از رسیدن جرقهها به مواد شیمیایی جلوگیری کرده و از خوردگی تجهیزات نیز پیشگیری میکند.
چرا طلا و کوارتز؟
اولاً، لایه طلا: هدف از استفاده از طلا، زیبایی نیست؛ بلکه طلا به عنوان یک آینه عمل کرده و تمام انرژی مادون قرمز را به سمت ویفر هدایت میکند.
نکته خوب این است که طلا از بازگشت گرما به داخل لامپ جلوگیری میکند؛ در نتیجه اتصالات الکتریکی لامپ آسیب نمیبینند.
دوماً، کوارتز: از کوارتز استفاده میکنیم زیرا میتواند در برابر فشارهای مختلف مقاومت کند؛ میتوانید برق را روشن و خاموش کنید، اما شیشه کوارتز ترک نخواهد خورد. اما کوارتز دارای ویژگی منفی است؛ یعنی سوراخدار است. در آزمایشگاههای شیمیایی، بخارات میتوانند از طریق سوراخهای کوارتز وارد لامپ شوند.
محافظت از مناطق خطرناک
برای اینکه مطمئن شویم که هیچ جرقه یا گرماای به بخارات قابل اشتعال نرسد، انتهای لامپها را به خوبی مهر و موم میکنیم. از چسبهای با دمای بالا یا مواد سرامیکی برای مهر کردن انتهای لامپ استفاده میکنیم. میتوان آن را مانند یک دیوار فیزیکی بین فیلامنت و هوای اطراف آن در نظر گرفت.
ما این لامپها را به گونهای ساختهایم که کاملاً در برابر هوا محافظت شوند؛ اگر مهربندی لامپ خراب شود، گاز هالوژن از آن خارج شده و فیلامنت فوراً خراب میشود. این روش ممکن است خطرناک به نظر برسد، اما در واقع هدف این است. یک انفجار سریع، بسیار ایمنتر از نشت تدریجی گازهای خطرناک است.
مزایا و معایب
لامپهای پوشیده شده با طلا، نور بیشتری تولید میکنند؛ بنابراین زمان لازم برای رسیدن به دمای مورد نظر کمتر میشود. اما این روش هزینه زیادی دارد؛ طلا گران است و لایه طلا نیز حساس است. حتی یک خراش کوچک در هنگام نصب، میتواند باعث ایجاد نقاط گرم شود؛ در نتیجه گرمای تولید شده نامتوازن خواهد بود.
همچنین، به تکنسینها گفته شود که همیشه دستکش بپوشند؛ چرا که روغنهای پوستی میتوانند باعث خرابی لامپ شوند. اگر آنها به کوارتز دست بزنند، روغنها در دمای بالا در شیشه نفوذ کرده و لامپ خراب میشود. این روش، روش خوبی برای گذراندن روزهای کاری نیست!