Bei der Erhitzung des Fotolacks handelt es sich um einen thermischen Prozess, bei dem genaue Kontrolle über die Temperatur erforderlich ist. Es geht darum, eine Temperaturschwankung von ±0,1 °C zu erreichen – schließlich führt jede Abweichung dazu, dass der Übergangsbereich zwischen den Schichten verschwindet und die Wafer unbrauchbar werden. Wenn die Lampe nicht richtig funktioniert, muss man die Folgen tragen: Umarbeitung, Ausschuss sowie unplanmäßige Stillstandszeiten. Deshalb haben wir eine SiC-Lampe entwickelt, die Schicht für Schicht mit konstanter Temperatur arbeiten kann.
Der Kern der Lampe besteht aus einem Kurzwellen-Infrarotemitter – Siliziumkarbid in einer Quarzkapsel, der für eine schnelle und stabile Reaktion ausgelegt ist. Ziel ist es, eine Temperaturgleichmäßigkeit von ±0,1 °C im gesamten Erhitzungsbereich zu erreichen. Die Wiederholgenauigkeit zwischen verschiedenen Chargen liegt bei ±0,5 °C. Die Leistung der Lampe kann auf verschiedene Bedingungen angepasst werden – sowohl für sanfte als auch für intensive Erhitzungsprozesse. Zudem ermöglicht die Steuerung eine präzise Kontrolle der Temperatur.
Das Gerät ist für Reinraumumgebungen geeignet und wurde für Umgebungen der Klassen 1–100 entwickelt. Es erzeugt keine Partikel, die den Fotolack kontaminieren könnten. Wir haben bereits Geräte gesehen, die länger als 5.000 Stunden lang ohne mehr als 5 % Leistungsabfall funktionierten – sie sind somit für einen 24/7-Betrieb geeignet.
In der Lithografieanlage kann diese Lampe die herkömmlichen Halogen- und Mittelwellensysteme ersetzen – ohne dass Anpassungen an den Prozessen nötig sind. Dadurch wird eine schnellere Stabilisierung der Temperatur erreicht, es gibt weniger Temperaturschwankungen und der Energieverbrauch pro Wafer ist geringer. Die Lampe passt in standardmäßige Ofenanlagen und kompatibel mit internationalen Semikonduktorenausrüstungen. Sie liefert außerdem ein zuverlässiges, gleichwertiges Temperaturprofil, was eine schnelle Qualifizierung des Geräts ermöglicht.
Die Installation ist einfach: Es reicht aus, die Anordnung der Komponenten sowie den Kühlfluss zu überprüfen. Ungenau angebrachte Reflektoren oder unzureichende Kühlung können das Temperaturprofil verfälschen. Überprüfen Sie daher vor dem Einsatz die Geometrie des Raumes sowie die Stromversorgung. Sobald alles korrekt eingestellt ist, fungiert die Lampe als zuverlässige Heizquelle – genau dort, wo sie benötigt wird.