http://warm-ir-heater-spot.com/vi/tags/trung-b%C3%ACnh/ Recent content in Trung Bình on Warm IR Spot Heating Hugo vi Thu, 04 Jun 2026 01:18:34 +0800 http://warm-ir-heater-spot.com/vi/posts/medium-wave-quartz-heater-tube/ Thu, 04 Jun 2026 01:18:34 +0800 http://warm-ir-heater-spot.com/vi/posts/medium-wave-quartz-heater-tube/ <p><img src="http://warm-ir-heater-spot.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Ống sưởi quartz sóng trung"></p> <p>Trên dây chuyền 300mm, hiệu suất nung photoresist là yếu tố then chốt đảm bảo sự đồng đều về overlay và kích thước nét (CD). Chỉ cần lệch vài độ trên bề mặt wafer trong quá trình soft bake hoặc hard bake có thể khiến kích thước nét vượt quá giới hạn quy định, dẫn đến phải loại bỏ nhiều giờ làm việc. Bộ gia nhiệt phải đạt nhanh đến điểm đặt, giữ ổn định không dao động và không phát sinh hạt bụi trong buồng.</p>