Đèn sấy trong sản xuất OLED

Tue, 09 Jun 2026 01:29:05 +0800

Trên dây chuyền in quang khắc OLED, không thể để xảy ra sai lệch nhiệt độ. Sai số chỉ nửa độ Celsius trong quá trình sấy photoresist đã đủ làm thay đổi kích thước quan trọng và loại bỏ toàn bộ cấp mặt nạ. Bạn cần một đèn sấy xử lý ngân sách nhiệt như một thông số quy trình thực thụ, chứ không phải chỉ là điều chỉnh bổ sung.

Những yếu tố quan trọng bên trong
Chúng tôi xây dựng đèn sấy OLED dựa trên các bóng halogen sóng ngắn nằm trong vỏ thạch anh. Nó phát ra bước sóng NIR tăng nhiệt nhanh, có thể xuyên vào lớp photoresist mà không làm cháy các lớp cấu trúc phía dưới. Độ đồng đều nhiệt độ trên tấm wafer duy trì trong phạm vi ±0.1°C xuyên suốt vùng sấy, giúp các chu trình soft bake và hard bake theo sát công thức quy định.
Thiết bị tương thích với phòng sạch cấp độ Class 1–100, nhờ vào quá trình lắp ráp kiểm soát hạt và vật liệu không giải phóng khí. Điều này giữ lượng hạt phát sinh từ chính đèn dưới mức yêu cầu của quy trình. Hệ thống còn lặp lại điểm đặt nhiệt độ một cách ổn định, ngày này qua ngày khác, giúp ngân sách ăn mòn và phát triển không bị lệch.

OLED on Warm IR Spot Heating

Đèn sấy trong sản xuất OLED