http://warm-ir-heater-spot.com/uk/tags/%D1%81%D0%B5%D1%80%D0%B5%D0%B4%D0%BD%D1%96%D0%B9/ Recent content in Середній on Warm IR Spot Heating Hugo uk Thu, 04 Jun 2026 01:18:34 +0800 http://warm-ir-heater-spot.com/uk/posts/medium-wave-quartz-heater-tube/ Thu, 04 Jun 2026 01:18:34 +0800 http://warm-ir-heater-spot.com/uk/posts/medium-wave-quartz-heater-tube/ <p><img src="http://warm-ir-heater-spot.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Трубка кварцового обігрівача середньої хвилі"></p> <p>На лінії 300mm продуктивність випікання фоторезисту є критичним фактором для точності накладання (overlay) та однорідності критичних розмірів (CD). Коливання температури на декілька градусів по всій поверхні пластини під час м’якого або твердого випікання може вивести критичні розміри за межі технічних вимог і призвести до браку годин роботи. Нагрівач має швидко досягати заданої температури, утримувати її без коливань і не допускати виділення частинок у камеру.</p> <p><strong>Що важливо &ldquo;під капотом&rdquo;</strong><br> Ми використовуємо кварцову трубку середнього хвильового діапазону для швидкого радіаційного нагріву з точним температурним контролем. Спектр середніх хвиль ефективно поглинається фоторезистом та полімерними плівками, що забезпечує швидкий розгін температури без перенагріву. Однорідність температури по поверхні пластини утримується в межах ±0.1°C, а повторюваність залишається стабільною з запуску в запуск навіть при цілодобовій роботі. Трубка сумісна з чистими приміщеннями класу 1–100 і не генерує частинок під час теплових циклів. Потужність залишається стабільною понад 5,000 годин з падінням інтенсивності радіації менше ніж на 5%.</p>