На лінії 300 мм відхилення 0,3°C під час випікання фоторезисту – це різниця між контрольованим запуском і повним браком. Ця лампа сушарки — не просто...

На поверсі літографії все відомо: зміщення температури лампи сушарки навіть на 0,2°C може вивести критичне розмірне відхилення за межі допуску. Soft...