Кварц on Warm IR Spot Heating

Щит з кварцового скла для лампи фабрикації

Thu, 23 Jul 2026 10:03:11 +0800

Як досягти правильного рівня теплового потоку під час обробки пластин
У заводі з виробництва чипів марнування енергії – це не просто проблема з бюджетом; це провал. Коли ви увімкнуте лампу, ви хочете, щоб кожен ват потужності потрапляв на поверхню пластини. Ви не хочете, щоб енергія розсіювалась по кімнаті чи нагрівала стелю.

Щоб цього досягти, ми використовуємо спеціальну комбінацію елементів: захисні екрани з кварцового скла високої чистоти та відбивачі, покриті золотом.

Чому саме золото?
Більшість відбивачів лише розсіюють енергію. Але золото є ідеальним матеріалом для відбиття інфрачервоного випромінювання. Замість того, щоб енергія витікала з корпусу лампи, золотий покриття відбиває ці хвилі назад на ціль. Це дозволяє перетворити широкий профіль випромінювання на концентрований промінь. Найкраще те, що можна досягти значно вищої густини тепла, не підвищуючи напругу та не навантажуючи систему.

Кварцова інфрачервона трубка потужністю 2700 Вт

Fri, 19 Jun 2026 02:53:29 +0800

На виробничій лінії процес обробки фотополімеру оцінюється у градусах – це дуже просто. Зміна температури на 2°C під час процедури нагрівання може призвести до змін критичних розмірів елементів плати. Одна-єдина частинка з нагрівача може зруйнувати всю продукцію. Трубка інфрачервоного випромінювання Clear Quartz 2700W створена саме для таких умов.

Що є важливим з технічної точки зору
Через прозору кварцову оболонку отримується потужність 2700 Вт інфрачервоного випромінювання. Це значить пряме опромінення з мінімальною тепловою масою. Процес нагрівання відбувається швидко, а контроль температури на поверхні плати є точним. На практиці це означає можливість стабільного контролю процесу обробки фотополімеру та стабільних параметрів роботи протягом усього циклу виробництва. Геометрія трубки забезпечує рівномірне освітлення, а матеріали, використані для її виготовлення, сприяють зменшенню виділення газів – що є важливим у чистих приміщеннях.

Трубка кварцового обігрівача середньої хвилі

Thu, 04 Jun 2026 01:18:34 +0800

На лінії 300mm продуктивність випікання фоторезисту є критичним фактором для точності накладання (overlay) та однорідності критичних розмірів (CD). Коливання температури на декілька градусів по всій поверхні пластини під час м’якого або твердого випікання може вивести критичні розміри за межі технічних вимог і призвести до браку годин роботи. Нагрівач має швидко досягати заданої температури, утримувати її без коливань і не допускати виділення частинок у камеру.

Що важливо “під капотом”
Ми використовуємо кварцову трубку середнього хвильового діапазону для швидкого радіаційного нагріву з точним температурним контролем. Спектр середніх хвиль ефективно поглинається фоторезистом та полімерними плівками, що забезпечує швидкий розгін температури без перенагріву. Однорідність температури по поверхні пластини утримується в межах ±0.1°C, а повторюваність залишається стабільною з запуску в запуск навіть при цілодобовій роботі. Трубка сумісна з чистими приміщеннями класу 1–100 і не генерує частинок під час теплових циклів. Потужність залишається стабільною понад 5,000 годин з падінням інтенсивності радіації менше ніж на 5%.