Sınıf 100 temiz oda ortamını gerçekten temiz tutmak
Sınıf 100 ortamında çalışırken istemediğiniz son şey, ısıtma sisteminin bir “confetti makinesi” gibi çalışmasıdır.
Çoğu standart ısıtıcı, oldukça sorunlu olabiliyor. Isındıklarında parçalanmaya başlarlar ve VOC gazları salgılarlar. Bu durum görünmez olsa da mevcuttur ve her şeyi mahveder. Bunu engellemek için iki yöntem kullanıyoruz: yüksek saflıkta kuvars lambalar ve özel paslanmaz çelik malzemeler.
Neden sentetik kuvars kullanıyoruz?
Bunu ısı konusunda altın standart olarak düşünebilirsiniz. Basit ısıtıcılarda bulunan ucuz camların aksine, bu malzeme sıcak olduğunda parçalanmaz veya mikroskobik parçacıklar salmaz. Böylece waferleriniz üzerinde herhangi bir toz birikimi olmaz. Ayrıca kızılötesi ışınlar sayesinde enerji doğrudan hedefe ulaşır. Oda içinde zorla hava akışı sağlamak gerekmeyeceğinden, tozların bir köşeden diğerine taşınması da söz konusu olmaz.
İmalat kalitesi (çoğu insanın hata yaptığı nokta)
Genellikle sistemdeki arızalar, ısıtıcı kabının kendisinden kaynaklanır. Bizimkileri 316L paslanmaz çelikten üretiyoruz ve aynalar gibi parlak hale getiriyoruz. Neden mi? Çünkü metaldeki gözenekler aslında tozların saklandığı küçük “otellerdir”. Ayrıca yapıştırıcılar ve ucuz contaları da kullanmıyoruz. Her şey TIG kaynağı ile birleştiriliyor ve paslanmaması için koruma işlemi uygulanıyor. Bu sayede temiz ve reaktif olmayan bir yapı elde edilir. Elektrik bağlantı noktalarının okside olup iletken kalıntılar bırakmaması için özel konektörler de kullanıyoruz.
Dikkat edilmesi gereken bazı noktalar
Yüksek saflıkta kuvars oldukça kırılgandır. Büyük sıcaklık değişikliklerine dayanabilir, ancak bir anahtarla vurulursa parçalanır. Montaj yaparken metal ile kuvars arasında hiçbir temas olmamasına dikkat edin. Lambanın güvenli kalabilmesi için PTFE veya seramik yalıtkanlar kullanıyoruz. Bir diğer önemli nokta ise kızılötesi ısıtmanın çok yoğun olmasıdır. Hızla yoğun ısı oluşur. Eğer havalandırma veya ısı dağıtım sistemi düzgün ayarlanmamışsa, kasanız bozulabilir. Anahtarı açmadan önce hava akışını mutlaka kontrol edin.