Wafer kurutma sürecindeki ısı kaybını durdurun
Standart kızılötesi lambaların sorunu şudur: Isıyı her yöne yaymaktadırlar. Yarı iletkenlerin kurutulduğu odalarda bu durum sadece enerji israfı anlamına gelir. Yansıtıcı olmadan, bu ısının büyük bir kısmı wafer yerine ekipmanın duvarlarına çarpar. Bu da karmaşaya neden olur. Ekipmanın iç kısımları o kadar ısınır ki, operatörlerin yanmasına veya hassas olması gereken parçaların bozulmasına yol açabilir.
Isının doğru yere gitmesini sağlayın
Bunu, kızılötesi radyasyonu dar ve kontrol edilebilir bir ışın haline getiren hassas yansıtıcılar kullanarak çözüyoruz. Bunu, sadece bir ampul yerine bir el feneri gibi düşünün. Arka taraftaki enerjiyi hedefe geri yansıtarak, wafer yüzeyinde daha fazla ısı elde edersiniz; böylece makinenin geri kalan kısmı fırın haline gelmez. Duvarlar serin kalır ve enerjiniz de amacına ulaşır.
Hangi malzemeleri seçeceğiniz
Lambanın dalga boyuna bağlı olarak genellikle yüksek saflıkta alüminyum veya altın kaplama kuvars kullanılır. Uzun dalga boylu kızılötesi ışıklar için altın en iyi seçenektir; ancak maliyeti yüksektir. Kısa dalga boylu sistemler için ise alüminyum daha uygundur. Güvenilirdir ve işi yerine getirir.
En zor kısım: Odak noktası
Lamba ile wafer arasındaki mesafeyi doğru şekilde ayarlamanız gerekir. Çok yakın olursa, waferler zarar görür. Çok uzak olursa, ışın dağılır ve tüm enerji boşa gider.
Bu durumun fabrika için anlamı
En iyi yanı şu ki, lambaları daha düşük güçte çalıştırarak hedeflenen sıcaklıklara ulaşabilirsiniz. Soğutma fanlarının da o kadar çok çalışmasına gerek kalmaz; bu da herkes için avantajlıdır. Ancak dikkatli olmalısınız: Işınu yoğunlaştırdığınız için odak noktasındaki yoğunluk oldukça yüksek olur. Sıcaklık kontrol cihazlarınızla çok dikkatli olmalısınız. Eğer hassas değilseniz, hedef sıcaklıkları aşarak waferlerinizi zarar verebilirsiniz. Ama doğru ayarları yaptığınızda, ekipmanınız serin kalır ve işlem de sorunsuz devam eder.