วิธีทำให้แผ่นเวเฟอร์ MEMS แห้งได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยไม่มีปัญหา
เมื่อคุณผลิตเซ็นเซอร์ MEMS สิ่งสุดท้ายที่คุณไม่อยากให้เกิดขึ้นก็คือการมีหยดน้ำหรือคราบสารละลายที่อาจทำลายแผ่นเวเฟอร์ได้ แต่คุณก็ไม่สามารถใช้ความร้อนในการทำให้แผ่นเวเฟอร์แห้งได้เช่นกัน เพราะจะทำให้วัสดุเสียหาย และก่อให้เกิดสิ่งสกปรกต่างๆ ขึ้นมา
นั่นคือเหตุผลที่เราใช้เครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น แทนที่จะสูญเสียเวลาไปกับการทำให้อากาศรอบๆ แผ่นเวเฟอร์ร้อนขึ้น อินฟราเรดจะส่งพลังงานเข้าไปในวัสดุโดยตรง ซึ่งเป็นวิธีที่มีประสิทธิภาพ ปลอดภัย และไม่มีสารเคมีหรือสิ่งปนเปื้อนใดๆ เข้ามาเกี่ยวข้อง
วิธีการทำงาน
ลองนึกภาพว่ามันเหมือนการโจมตีเป้าหมายโดยตรง เครื่องทำความร้อนจะส่งโฟตอนออกมา ซึ่งโมเลกุลน้ำจะดูดซับพลังงานนั้น ทำให้น้ำระเหยไปในทันที
สิ่งที่ดีที่สุดก็คือไม่มีอากาศไหลผ่านเลย หากคุณเคยอยู่ในห้องสะอาดมาก่อน คุณจะรู้ดีว่ากระแสลมเป็นตัวนำพาฝุ่นและสิ่งสกปรกเข้ามา แต่อินฟราเรดเป็นวิธีที่ “แห้ง” ไม่จำเป็นต้องใช้สารเคมีหรือวัสดุที่มีส่วนผสมของตะกั่วเพื่อสร้างความร้อน มันก็ทำงานได้เลย
การประหยัดพลังงาน (และความยุ่งยากต่างๆ)
นี่คือสิ่งที่น่าพอใจมาก เพราะคุณไม่จำเป็นต้องใช้เวลาหลายชั่วโมงเพื่อทำให้ห้องมีอุณหภูมิที่เหมาะสมอีกต่อไป ด้วยเครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรด คุณสามารถทำให้แผ่นเวเฟอร์มีอุณหภูมิที่เหมาะสมได้ในเวลาเพียงไม่กี่วินาที นอกจากนี้ยังช่วยลดค่าไฟฟ้าอีกด้วย เพราะใช้พลังงานน้อยกว่ามากเมื่อเทียบกับวิธีการแบบเดิม และยังไม่มีกลิ่นไม่พึงประสงค์จากสารเคมีอีกด้วย นี่คือวิธีที่สะอาดกว่าในการทำงาน
ข้อเสีย
แน่นอนว่ามันไม่ใช่วิธีที่สมบูรณ์แบบเสมอไป มีข้อจำกัดบ้าง อินฟราเรดจะส่งพลังงานได้เฉพาะในแนวตรงเท่านั้น หากแผ่นเวเฟอร์มีรูปร่างแปลกๆ หรือมีพื้นที่ที่ลึกเกินไป ก็จะมีจุดที่ไม่ได้รับความร้อน คุณจำเป็นต้องวางตำแหน่งเครื่องทำความร้อนให้เหมาะสม หากคุณพยายามเพิ่มกำลังไฟเพื่อแก้ปัญหานี้ ก็อาจทำให้ขอบของแผ่นเวเฟอร์เสียหายได้ ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีการวางแผนอย่างรอบคอบ
เราออกแบบระบบนี้มาให้สามารถนำมาใช้แทนเครื่องทำความร้อนแบบเดิมได้เลย แต่ต้องระวังว่าแหล่งจ่ายไฟของคุณสามารถรองรับกระแสไฟที่เพิ่มขึ้นได้หรือไม่ เมื่อเครื่องทำความร้อนเริ่มทำงาน ก็จะไม่มีปัญหาอีกต่อไป