Нагреватель для поддержки криогенной системы

Sun, 21 Jun 2026 03:00:12 +0800

На производственной площадке можно почувствовать изменения температуры во время сушки пластин и обработки фотополимеров – это негативно сказывается на качестве продукции. Как только температура достигает заданного уровня, нагреватель должен обеспечить стабильную температуру на поверхности пластины. Любые отклонения приводят к изменению ширины линий и появлению нежелательных изъянов на поверхности пластины.

Что важно для работы системы Наш нагреватель обеспечивает стабильную температуру на поверхности пластины в пределах ±0,1°C в активной зоне, при этом точность поддержания заданной температуры составляет ±0,5°C. Элемент, оптимизированный для использования в инфракрасном диапазоне, обеспечивает эффективную передачу энергии, подходит для использования в чистых комнатах класса 1–100, а также не создает никаких частиц. Он работает на постоянной мощности без возникновения «горячих точек», а его выходная мощность остается стабильной в течение тысяч часов работы. Интерфейсы разработаны так, чтобы обеспечить быстрое подключение к криогенным устройствам и модулям обработки, причем устройство рассчитано на круглосуточную работу.

Поддержка on Warm IR Spot Heating

Нагреватель для поддержки криогенной системы