Трубка кварцевого обогревателя средней волны

Thu, 04 Jun 2026 01:18:34 +0800

На 300мм линии характеристики запекания фоторезиста являются ключевым фактором для точности совмещения и равномерности критических размеров (CD). Несколько градусов отклонения температуры по поверхности пластины во время мягкого или жёсткого запекания могут вывести критические размеры за пределы спецификации и привести к браку потраченного времени. Нагреватель должен быстро достигать заданной температуры, стабильно её удерживать без колебаний и не выделять частицы в камеру.

Что важно внутри

Мы используем кварцевую трубку с излучением среднего диапазона для быстрого радиационного нагрева с точным термоконтролем. Спектр среднего диапазона эффективно взаимодействует с фоторезистом и полимерными плёнками, обеспечивая быстрое повышение температуры без превышения заданного уровня. Температурная однородность на поверхности запекания удерживается в пределах ±0,1°C, а повторяемость параметров остаётся стабильной при серийной работе, включая круглосуточный режим. Трубка совместима с чистыми помещениями классов 1–100, не генерирует частицы при термоциклировании. Мощность излучения остаётся стабильной более 5000 часов с потерей интенсивности менее 5%.

Волна on Warm IR Spot Heating

Трубка кварцевого обогревателя средней волны