В процессе прогрева фотополимера речь идет о крайне важном тепловом процессе. Необходимо добиться точности на уровне ±0,1°C, ведь любые отклонения могут привести к снижению качества изделий и их утилизации. Если лампа не работает должным образом, это приводит к необходимости переработки продукции, ее утилизации и простоя оборудования. Поэтому мы разработали лампу для печей на основе карбида кремния, способную работать без перерывов в течение длительного времени с постоянной температурой.
Ядро лампы представляет собой излучатель коротковолнового инфракрасного излучения: карбид кремния, расположенный в кварцевом корпусе, обеспечивает быстрое и стабильное излучение. Мы стремимся к одинаковой температуре на всей поверхности пластины — ±0,1°C. Повторяемость параметров при работе с разными партиями продукции составляет ±0,5°C. Мощность лампы можно регулировать для использования в различных режимах прогрева; также возможен контроль нагрева для поддержания нужного уровня температуры.
Корпус лампы соответствует требованиям чистых помещений: он предназначен для использования в средах класса 1–100, при этом не возникает выделения частиц. Это исключает вероятность загрязнения фотополимера. Мы видели, что лампы могут работать более 5 000 часов с потерей мощности менее 5%. Они разработаны для круглосуточной работы.
В процессе литографии эта лампа заменяет традиционные галогеновые и средневолновые системы — нет необходимости изменять параметры процесса. Это позволяет достичь более быстрой стабилизации температуры, сокращает количество необходимых циклов прогрева и снижает энергозатраты на обработку одной пластины. Лампа может использоваться в стандартных печах, соответствует стандартам международного оборудования для производства полупроводников, а также обеспечивает точно заданный тепловой профиль для немедленной эксплуатации.
Установка лампы сводится к простым действиям: выравнивание установки и настройка потока охлаждающей жидкости. Несоответствие размеров отражателей или недостаточное охлаждение могут привести к искажению профиля температуры. Перед включением лампы необходимо проверить геометрию камеры и параметры подачи энергии. После настройки лампа будет функционировать как идеальный источник тепла — с высокой точностью, именно там, где это необходимо.