Tubo de aquecedor de quartzo de onda média

Thu, 04 Jun 2026 01:18:34 +0800

Na linha de 300mm, o desempenho da queima do fotoresiste é o fator determinante para a uniformidade do overlay e do CD. Alguns graus de variação na temperatura ao longo do wafer durante a soft bake ou hard bake podem levar as dimensões críticas para fora da especificação, resultando em horas de trabalho descartadas. O aquecedor deve atingir rapidamente o setpoint, mantê-lo sem oscilações e não liberar partículas na câmara.

O que importa no funcionamento interno
Utilizamos um tubo de aquecimento de quartzo de onda média para calor radiante rápido com controle térmico preciso. Esse espectro de onda média acopla-se de forma eficiente a filmes de fotoresiste e polímero, permitindo uma subida rápida de temperatura sem ultrapassagem. A uniformidade térmica ao nível do wafer mantém-se dentro de ±0,1°C na superfície de queima, e a repetibilidade permanece estável corrida após corrida, mesmo em operação 24/7. O tubo é compatível com salas limpas classe 1–100, sem geração de partículas durante os ciclos térmicos. A saída se mantém estável por mais de 5.000 horas, com queda inferior a 5% na intensidade radiante.

Quartzo on Warm IR Spot Heating

Tubo de aquecedor de quartzo de onda média