Na linii produkcyjnej proces obróbki fotorezystu mierzony jest w stopniach – to proste i jasne. Nawet niewielka zmiana temperatury o 2°C podczas...

Na linii 300mm wydajność wypalania fotooporu jest kluczowa dla dokładności nakładania i jednorodności wymiarów krytycznych (CD). Kilkustopniowe...