Kwarc on Warm IR Spot Heating

Szklana osłona z kwarcu do lampy fabrykacyjnej

Thu, 23 Jul 2026 10:03:11 +0800

Jak uzyskać odpowiedni przepływ ciepła podczas obróbki płytek krzemowych
W fabryce marnowanie energii to nie tylko problem finansowy – to błąd. Proste. Gdy włączasz lampę, chcesz, aby każdy watt mocy trafił na powierzchnię płytki krzemowej. Nie chcesz, aby energia rozpraszała się po pomieszczeniu lub grzała sufit.

Aby to osiągnąć, korzystamy z specjalnego zestawu elementów: osłon z kwarcowego szkła o wysokiej czystości oraz reflektorów pokrytych złotem.

Dlaczego złoto?
Większość reflektorów jedynie rozpraszają energię. To nieefektywne. Złoto natomiast doskonale radzi sobie z promieniowaniem podczerwonym. Zamiast pozwalać ciepłu uciekać do obudowy lampy, warstwa złota odbija te fale z powrotem w kierunku celu. W ten sposób szeroki strumień promieniowania zostaje przekształcony w skupiony strumień energii. Najlepsze jest to, że uzyskujesz znacznie wyższą gęstość ciepła, bez konieczności zwiększania napięcia i obciążania systemu.

Czysty kryształowy rurka podczerwieni 2700W

Fri, 19 Jun 2026 02:53:29 +0800

Na linii produkcyjnej proces obróbki fotorezystu mierzony jest w stopniach – to proste i jasne. Nawet niewielka zmiana temperatury o 2°C podczas procesu pieczenia może wpłynąć na właściwości fotorezystu. Jeden tylko cząsteczek powstały w wyniku działania grzałki może zniszczyć efekty pracy maszyny. Tubus infraczerwony Clear Quartz 2700W został stworzony właśnie z myślą o takich warunkach.

Co jest istotne z technicznego punktu widzenia Dzięki tubusowi o mocy 2700W uzyskujemy bezpośrednie nagrzewanie za pomocą promieniowania infraczerwonego, przy jednoczesnym minimalnym obciążeniu termicznym. Proces nagrzewania przebiega szybko, a kontrola temperatury na płytkach jest dokładna. W praktyce oznacza to możliwość uzyskania spójnych parametrów procesu obróbki fotorezystu oraz stabilności parametrów w każdej partii produktu. Geometria tubusu zapewnia równomierne oświetlenie, a wybrane materiały pomagają zmniejszyć emisję gazów – co jest ważne w warunkach czystej sali produkcyjnej.

Średniofalowa kwarcowa rurka grzewcza

Thu, 04 Jun 2026 01:18:34 +0800

Na linii 300mm wydajność wypalania fotooporu jest kluczowa dla dokładności nakładania i jednorodności wymiarów krytycznych (CD). Kilkustopniowe odchylenie temperatury na waflu podczas miękkiego lub twardego wypalania może przesunąć wymiary krytyczne poza specyfikację, powodując odrzut godzin pracy. Grzałka musi szybko osiągnąć zadaną wartość, utrzymać ją bez oscylacji i nie emitować cząstek do komory.

Co jest istotne “pod maską”
Stosujemy kwarcową rurę grzewczą o średniej długości fali, zapewniającą szybkie, promieniowe ogrzewanie z precyzyjną kontrolą termiczną. Spektrum średniej długości fali efektywnie oddziałuje na fotoopory i warstwy polimerowe, co pozwala na szybkie narastanie temperatury bez przeregulowania. Jednorodność temperatury na poziomie wafla utrzymuje się w granicach ±0,1°C na powierzchni wypalania, a powtarzalność jest stabilna cykl po cyklu, nawet przy pracy 24/7. Rura jest kompatybilna z czystymi pomieszczeniami klasy 1–100, nie generując żadnych cząstek podczas cykli termicznych. Moc promieniowania pozostaje stabilna przez ponad 5 000 godzin pracy, z mniej niż 5% spadkiem intensywności promieniowania.