Wafel on Warm IR Spot Heating

Energieefficiënte waferverwarmer

Sun, 19 Jul 2026 10:26:14 +0800

Voorkom dat uw infraroodlampen uw wafers beschadigen

Als u ooit te maken hebt gehad met een kapotte infraroodlamp tijdens een productieproces onder hoge belasting, weet u hoe erg dat is. Het gaat niet alleen om de stilstand die dit veroorzaakt.

Wanneer een kwartsbuis kapotgaat, verandert deze in feite in een soort glazen granaat. Er ontstaan dan scherven en metalen deeltjes die overal terechtkomen. Hierdoor raken uw dure wafers besmet en moet de hele lading worden weggegooid. Het is een complete chaos.

Reflector voor wafer curinglamp

Sat, 18 Jul 2026 02:10:34 +0800

Stop met het verspillen van warmte in uw apparaat voor het drogen van siliconenchips
Het probleem met standaard infrarode lampen is dat ze warmte in alle richtingen uitzenden. Wanneer u werkt in een chamber voor het drogen van halfgeleiders, is dat pure verspilling van energie. Zonder reflectoren gaat een groot deel van die warmte naar de wanden van het apparaat in plaats van op de chip zelf. Dat leidt tot problemen: de binnenkant van het apparaat wordt zo heet dat dit schade kan veroorzaken aan de componenten die nauwkeurig moeten blijven functioneren.

Temperatuursensor voor wafer apparaat

Mon, 13 Jul 2026 18:07:13 +0800

Het verkrijgen van accurate thermische gegevens in een slimme fabriek

Als je een slimme fabriek wilt opzetten, is het eerste wat je moet doen: contactsondes vermijden. Echt waar.

Bij hoge productiesnelheden kun je niet om vertragingen heen. Bovendien leidt het gebruik van fysieke sondes tot vervuiling. Daarom maken we gebruik van infraroodsystemen. Hiermee kun je in real-time thermische gegevens opvragen, zonder de wafer aan te raken. De gegevens worden rechtstreeks doorgestuurd naar je PLC of SCADA-systeem. Het werkt gewoon.

Vervangingslamp voor waferdroger

Tue, 02 Jun 2026 04:14:42 +0800

Op de lithografievloer weet u hoe het gaat: een waferdrogerlamp die zelfs 0,2°C afwijkt kan de kritische dimensiebias net buiten specificatie brengen. Soft bake en hard bake zijn niet zomaar thermische formaliteiten—ze bepalen de oplosmiddelverwijdering, polymeren crosslinking en lijnbreedtecontrole. Zodra de lamp begint te schommelen, daalt de opbrengst voordat u het überhaupt ziet.

Wat er onder de motorkap telt
We specificeren deze vervangingslampen voor halogeen kortegolfuitvoer, afgestemd op kwartsomhulsels zodat ze snel reageren en een stabiele spectrale output behouden. Over het bakvlak blijft de uniformiteit op wafer-niveau binnen ±0,1°C, wat het thermisch budget van de fotoresist beschermt en het proces herhaalbaar houdt. De lamp is cleanroom-compatibel van Klasse 1 tot Klasse 100, zonder deeltjesgeneratie in de bakzone en met een afgesloten aansluiting die uitgassing voorkomt. Het stroomverbruik is afgestemd op de thermische belasting van de droger zonder overshoot, en de filamentgeometrie is ontworpen voor 24/7 werking—uitvoerdrift blijft onder de 5% over 5.000 uur.