Kwartsglas schild voor fablamp

Thu, 23 Jul 2026 10:03:11 +0800

Het goed instellen van de hitteflux tijdens het bewerken van wafers
In een fabricagefaciliteit is het verspillen van energie geen probleem dat alleen te maken heeft met de kosten – het is een fout. Punt uit. Wanneer je de lamp aanzet, wil je dat iedere watt aan energie op het oppervlak van de wafer terechtkomt. Je wilt niet dat de energie rondvliegt in de ruimte of dat het plafond wordt opgewarmd.

Om dit te bereiken, gebruiken we een specifieke combinatie: schermen gemaakt van kwartsglas van hoge zuiverheid en reflectoren die bedekt zijn met goud.

Klaar kwarts infraroodbuis 2700W

Fri, 19 Jun 2026 02:53:29 +0800

Op de productielijn wordt de verwerking van fotoresist gemeten in graden, eenvoudig gezegd. Een verschil van 2°C tijdens het ‘soft bake’- of ‘hard bake’-proces kan ertoe leiden dat de belangrijke dimensies van het product veranderen. Eén enkele deeltje uit de verwarmingseenheid kan al voldoende zijn om de kwaliteit van het product te beïnvloeden. De Clear Quartz Infrared Tube 2700W is speciaal ontworpen voor deze omstandigheden.

Middengolf kwartsverwarming buis

Thu, 04 Jun 2026 01:18:34 +0800

Op de 300mm-lijn is de bakprestatie van de photoresist de sleutel voor overlay- en CD-uniformiteit. Een afwijking van enkele graden over de wafer tijdens soft bake of hard bake kan kritische afmetingen buiten de specificaties brengen en uren werk doen weggooien. De verwarming moet direct op de ingestelde waarde komen, deze stabiel vasthouden zonder oscillatie, en mag geen deeltjes in de kamer verliezen.
Wat er onder de motorkap speelt
We gebruiken een medium wave kwartsverwarmingselement voor snelle, stralingsgerichte warmte met nauwkeurige temperatuurregeling. Het medium wave spectrum koppelt efficiënt met photoresist- en polymeerlagen, waardoor snelle opwarming zonder overshoot mogelijk is. De temperatuuruniformiteit over het waferoppervlak blijft binnen ±0,1°C tijdens het bakken en de reproduceerbaarheid blijft strak van run tot run, zelfs bij continu gebruik 24/7. Het element is cleanroom-compatibel voor Class 1–100 omgevingen, met nul deeltjesgeneratie tijdens thermische cycli. Het vermogen blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% afname in stralingsintensiteit.
Waarom het geschikt is voor de litho-track
In lithografietracks en coat/bake modules voldoet deze verwarming exact aan het thermisch budget. Soft bake- en hard bake-profielen stabiliseren sneller, waardoor de cyclustijd afneemt. Het energieverbruik daalt doordat de medium wave respons direct is en niet onnodig energie verspilt. Het resultaat is een hogere opbrengst door consistente lijndiktecontrole, minder afgekeurde batches en minder ongeplande stilstand. Het ontwerp voldoet aan internationale standaarden voor halfgeleiderapparatuur en functioneert als een geverifieerd, equivalent alternatief voor bestaande platforms.
Aantekeningen uit het veld voordat u het specificeert
De installatie vereist de juiste oriëntatie en vrije ruimte. Het kwarts element is gevoelig voor mechanische schokken en thermische uitzetting aan de uiteinden betekent dat montagetoleranties nauwkeurig moeten worden ingesteld. Controleer spanning en aansluiting volgens uw modulespecificatie en bevestig dat uw controller de belasting kan aansturen zonder PID-overshoot. Als deze details kloppen, presteert de verwarming betrouwbaar in productie, dag na dag.

Kwarts on Warm IR Spot Heating

Kwartsglas schild voor fablamp

Klaar kwarts infraroodbuis 2700W

Middengolf kwartsverwarming buis