Op de 300mm-lijn is een drift van 0,3°C tijdens het bakken van de photoresist het verschil tussen een gecontroleerde run en een volledige...

Op de lithografievloer weet u hoe het gaat: een waferdrogerlamp die zelfs 0,2°C afwijkt kan de kritische dimensiebias net buiten specificatie...

Wat Zit Er Onder de Motorkap Hier is de kern van de zaak: we hebben deze schoendroger-verwarmer gebouwd om snel en robuust te zijn. Het is een 2500W,...