Bij het gebruik van deze lamp voor het verhitten van fotorezyst is het belangrijk om een constante temperatuur te behouden. Er moet worden gestreefd naar een temperatuurverschil van ±0,1°C, want anders wordt de precisie verstoord en worden de wafers onbruikbaar. Als de lamp niet goed functioneert, heeft dat gevolgen: herwerkwerk, verspilde materialen en ongeplande stilstand. Daarom hebben we deze SiC-lamp ontworpen zodat deze kan worden gebruikt in een continue werking, met een reproduceerbare temperatuur.
Het hart van de lamp is een infraroodemitter met korte golflengte: siliciumcarbide in een kwartsomhulsel, speciaal ontworpen voor een snelle en stabiele reactie. We streven ernaar om een temperatuurverschil van ±0,1°C te bereiken over de hele verhittingszone. De reproduceerbaarheid tussen verschillende batches ligt dan weer bij ±0,5°C. De uitgangsspanning kan worden aangepast voor zowel zachte als harde verhitting, met mogelijkheid tot precies regelen van de temperatuur.
Het apparaat is geschikt voor gebruik in een schone ruimte, ontworpen voor omgevingen van klasse 1–100, zonder enige vorm van partikelvorming. Er is geen uitstoot van gassen die de fotorezyst kunnen bevuilen. We hebben apparaten zien werken gedurende meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% daling in prestaties. Het apparaat is dus bedoeld voor 24/7 gebruik.
In de lithografiehal kan deze lamp worden gebruikt in plaats van de ouderwetse halogeen- en middengolfsystemen. Hierdoor is er geen behoefte om de instellingen aan te passen. Er wordt sneller een stabiele temperatuur bereikt, er zijn minder fouten tijdens het verhitten, en de energieverbruik per wafer is lager. De lamp past zich aan aan standaardovenapparatuur en voldoet aan de internationale vereisten voor halfgeleiderapparatuur. Hierdoor kan de lamp direct worden gebruikt.
De installatie is eenvoudig: het apparaat hoeft alleen maar goed te worden geplaatst en moet goed gekoeld worden. Onjuiste reflectoren of onvoldoende koeling kunnen de werking van het apparaat beïnvloeden. Controleer eerst de geometrie van de ruimte en de stroomvoorziening voordat je het apparaat inschakelt. Una fois alles goed is ingesteld, werkt het apparaat als een perfecte warmtebron – precies waar je het nodig hebt.