Voorkom dat glasscherven je wafers beschadigen
In een fabriek voor semiconductoren met hoge productiecapaciteit is het exploderen van een lamp niet zomaar een klein probleem of een korte stilstand in de productie. Het is een nachtmerrie.
Als een IR-tube kapotgaat, vallen er kwartscherven en halogeengas naar beneden op je wafers. Met één enkele explosie is de hele lading verloren. We hebben veel tijd besteed aan het bedenken van manieren om dit te voorkomen, door te letten op de materialen en op de manier waarop de lampen worden geassembleerd.
De materialen die we gebruiken
We gebruiken synthetisch kwarts van hoge zuiverheid voor de buitenlaag van de lamp. Waarom? Omdat dit materiaal bestand is tegen snel opwarmen en afkoelen, zonder te barsten.
Maar daar stoppen we niet bij. We voegen ook een beschermmantel of een dunne filmcoating toe. Denk hierbij aan een soort ‘veiligheidssnet’. Als het filament kapotgaat en de lamp defect raakt, houdt deze laag de glasscherven op hun plek, zodat ze je producten niet kunnen beschadigen.
Het probleem van de hitte
Je hebt veel vermogen nodig om de wafers snel op temperatuur te brengen. Maar er is een nadeel: te veel energie in een kleine ruimte zorgt voor ‘ hete plekken’.
We passen de spanning en het vermogen zo aan dat de hitte gelijkmatig over de hele lamp wordt verdeeld. Let op: als je de lampen op volle kracht laat werken, moet je zorgvuldig opletten met het koelsysteem. Als de behuizing te heet wordt, kunnen de sluitingen rondom de elektroden het begeven. Dat is meestal precies wanneer de lamp te vroeg explodeert.
Goede verbindingen
Dan is er nog het onderwerp van de bedrading. We gebruiken connectors die nauw passen, want elektrische bogen kunnen schade toebrengen aan de lamp. Bogen veroorzaken intense warmtestralen die na verloop van tijd de kwartswand kunnen beschadigen.
Door ervoor te zorgen dat de verbindingen goed passen en trillingbestendig zijn, verminderen we de mechanische belasting op de uiteinden van de lamp.
Op deze manier krijg je een hittebron die je echt kunt vertrouwen. Natuurlijk moet je nog steeds goed oppassen met het onderhoud van het koelsysteem, maar zo wordt het meest riskante punt in het systeem weggenomen.