Mentol pengering wafer berkecekapan tinggi

Mon, 08 Jun 2026 03:06:22 +0800

Pada lini 300mm, peralihan suhu sebanyak 0.3°C semasa proses pembakaran photoresist membezakan antara larian terkawal dan lot penuh yang dibuang. Mentol pemanas pengering itu bukan sekadar alat habis pakai biasa—ia adalah sauh terma yang menentukan julat proses anda.

Apa yang penting, dari sudut teknikal
Kami menentukan spesifikasi mentol pengering wafer ini untuk mengekalkan keseragaman suhu pada tahap wafer dalam julat ±0.1°C sepanjang profil pembakaran, dari pembakaran lembut hingga pembakaran keras. Sampul kuarza dan geometri filamen disesuaikan supaya suhu kembali dengan cepat tanpa lebihan, agar dimensi kritikal kekal stabil.
Output disesuaikan dengan kelas Cleanroom 1–100, dan kami mengesahkan tiada penghasilan partikel terus di titik penggunaan. Anda boleh bergantung kepada lebih daripada 5,000 jam output stabil, dengan peralihan intensiti di bawah 5%, yang bermaksud penukaran yang tidak dirancang lebih sedikit sepanjang larian.

Ketidakselesaan on Warm IR Spot Heating

Mentol pengering wafer berkecekapan tinggi