Mengeringkan Wafer MEMS Tanpa Masalah
Ketika membuat sensor MEMS, perkara terakhir yang diinginkan ialah adanya titisan kelembapan atau kotoran akibat pelarut yang boleh merosakkan wafer tersebut. Namun, kita tidak boleh menggunakan haba untuk mengeringkannya—ini akan menyebabkan tekanan pada bahan tersebut dan menghasilkan sisa-sisa yang sukar dibersihkan.
Oleh itu, kita menggunakan pemanas inframerah gelombang pendek. Berbeza dengan cara biasa, pemanas ini menghantar tenaga secara langsung ke permukaan wafer. Ia merupakan cara yang efektif dan bersih. Tidak memerlukan bahan kimia atau proses yang rumit.
Bagaimana ia berfungsi
Bayangkanlah ia seperti serangan yang tepat sasaran. Pemanas ini menghantar foton yang diserap oleh molekul air, sehingga cecair tersebut cepat menguap.
Yang terbaiknya, tiada udara yang bergerak di sekeliling wafer. Jika anda pernah berada di bilik bersih, anda pasti tahu bahawa aliran udara merupakan cara untuk membawa debu dan zarah-zarah lain. Pemakaian pemanas inframerah merupakan cara yang “kering” untuk mengeringkan wafer. Anda tidak perlu menggunakan bahan kimia berbahaya atau bahan solder yang mengandungi plumbum untuk mendapatkan haba yang diperlukan. Semuanya berlaku secara semula jadi.
Menjimatkan tenaga
Ini merupakan kelebihan utama penggunaan pemanas inframerah. Anda tidak perlu menunggu lama untuk memanaskan wafer. Ini sangat membantu dalam mengurangkan kos elektrik. Selain itu, tiada lagi emisi VOC yang timbul daripada bahan kimia yang digunakan untuk mengeringkan wafer. Ini merupakan cara yang lebih bersih untuk bekerja.
Kekurangan
Namun, ia bukanlah penyelesaian yang sempurna. Pemanas inframerah hanya berkesan jika ia berada dalam garis pandangan yang tepat. Jika wafer berbentuk unik atau mempunyai celah-celah yang dalam, maka akan ada kawasan yang tidak mendapat haba. Anda perlu merancang dengan teliti bagaimana meletakkan pemanas tersebut. Jika anda cuba meningkatkan kuasa pemanas untuk mengatasi masalah ini, ia mungkin akan merosakkan permukaan wafer.
Kami telah merancang sistem ini agar dapat digunakan di tempat yang sama seperti unit pemanas lama yang memerlukan banyak tenaga. Pastikan suplai kuasa anda mampu menanggung beban kuasa yang tinggi ketika pemanas dihidupkan. Setelah itu, semuanya akan berjalan lancar.