Di bilik pemprosesan fotorezist, proses pemprosesannya diukur dalam bentuk suhu, secara mudah sahaja. Perubahan suhu sebanyak 2°C semasa proses pemanasan boleh menyebabkan perubahan pada dimensi kritikal bahan tersebut. Satu zarah kecil dari pemanas pun sudah cukup untuk merosakkan hasil pemprosesan. Tiub inframerah Clear Quartz 2700W direka khusus untuk mengatasi masalah ini.
Apa yang penting dari segi teknikalnya:
Tiub ini menghasilkan tenaga inframerah sebanyak 2700W melalui lapisan kuarsa yang telus. Ini bermakna pemanasan berlaku secara langsung, dengan beban haba yang rendah. Proses pemanasan berlaku dengan cepat, dan kawalan suhu pada wafer juga sangat tepat. Dalam praktiknya, ini memastikan profil pemanasan yang konsisten untuk setiap lapisan fotorezist, serta prestasi yang stabil dari satu kitaran pemprosesan ke kitaran yang lain. Bentuk geometri tiub ini memastikan pencahayaan yang seragam, dan bahan-bahan yang digunakan pula dipilih untuk mengurangkan pelepasan gas – perkara yang penting apabila bekerja di bilik bersih.
Mengapa ia berkesan di tempat kami bekerja:
Dalam proses litografi dan pemprosesan fotorezist, keseragaman suhu memainkan peranan penting dalam mengawal ketebalan garisan dan mengurangkan kecacatan. Dengan tiub ini, prestasi pemanasan menjadi konsisten pada seluruh permukaan wafer, sekali gus mengurangkan keperluan untuk memulakan semula proses pemprosesan. Reka bentuk tiub ini sesuai untuk digunakan di bilik bersih, kerana ia dapat mengelakkan pembentukan zarah-zarah kecil pada wafer. Respons tiub yang cepat juga memendekkan masa menunggu antara setiap proses pemanasan. Hasilnya ialah masa kitaran yang dapat diramalkan, lebih sedikit bahan buangan, dan kurang gangguan yang tidak dijangka.
Apa yang perlu anda ketahui:
Proses pemasangan tiub ini memerlukan penyesuaian geometri alat pemasang dan reflektor agar sesuai dengan oven atau plat panas yang digunakan. Jika jarak antara komponen tersebut tidak tepat, akan timbul kawasan panas yang tidak sekata. Pastikan voltan dan sambungan kabel sesuai, dan pastikan adanya pengasingan haba agar komponen-komponen sekeliling tidak terpengaruh. Anggaplah kuarsa sebagai bahan yang mudah rosak – rawatlah ia dengan baik, dan aturlah jadual penggantian yang tepat agar tidak berlaku masalah pada masa operasi yang intensif.