http://warm-ir-heater-spot.com/ko/tags/%EC%A0%80%EC%98%A8/ Recent content in 저온 on Warm IR Spot Heating Hugo ko Sun, 21 Jun 2026 03:00:12 +0800 http://warm-ir-heater-spot.com/ko/posts/cryogenic-system-support-heater/ Sun, 21 Jun 2026 03:00:12 +0800 http://warm-ir-heater-spot.com/ko/posts/cryogenic-system-support-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-spot.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="저온 시스템 지원 히터"></p> <p>웨이퍼 건조 및 포토레지스트 처리 과정에서 온도가 변동하면 그 영향이 바로 느껴집니다. 수율이 저하됩니다. 크라이오 스테이지가 설정된 온도에 도달하면, 서포트 히터가 웨이퍼 표면을 고정시켜야 합니다. 만약 약간의 위치 변화나 불균일성이 있으면, 선의 굵기에 변동이 생기고 웨이퍼 표면에 이상이 생깁니다.</p>