http://warm-ir-heater-spot.com/ja/tags/%E9%9B%BB%E7%90%83/ Recent content in 電球 on Warm IR Spot Heating Hugo ja Tue, 02 Jun 2026 04:14:42 +0800 http://warm-ir-heater-spot.com/ja/posts/wafer-dryer-lamp-replacement-bulb/ Tue, 02 Jun 2026 04:14:42 +0800 http://warm-ir-heater-spot.com/ja/posts/wafer-dryer-lamp-replacement-bulb/ <p><img src="http://warm-ir-heater-spot.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="ウェハードライヤーランプ交換用電球"></p> <p>リソグラフィ工程では状況をよく理解しているはずだ。ウェハードライヤーのランプがたった0.2℃ずれても、重要寸法のバイアスが規格外に押し出される可能性がある。ソフトベイクとハードベイクは単なる熱処理ではなく、溶剤除去、ポリマーの架橋、線幅制御を設定する工程だ。ランプが不安定になると、その時点で歩留まりは目に見える前に低下する。</p>