真空チャンバー用赤外線ヒーター

Fri, 10 Jul 2026 02:10:47 +0800

真空チャンバーを加熱するのをやめましょう。

半導体製造工場で働いたことがある人なら、この問題がどれほど面倒かわかるでしょう。ウェーハを加熱する必要はありますが、真空チャンバーをオーブンのように使ってしまってはいけません。

通常の赤外線ランプは、単なる電球のようなもので、熱をあらゆる方向に放出します。真空状態では、そのエネルギーは行き場を失い、装置の内壁にぶつかります。その結果、装置が過熱し、作業員が火傷を負う危険性があります。