真空対応型赤外線ヒーター

Sat, 25 Jul 2026 02:44:44 +0800

本当に重要な場所により多くの熱を届けるために
真空状態で作業を行うと、物理法則と戦っているようなものです。空気を利用して熱を移動させることはできず、対流も起こりません。そのため、放射に頼るしかありませんが、これはかなり難しい問題です。
ウェーハに届かない1ワットのエネルギーも、無駄な熱として捨てられます。これを排除するために、私たちは赤外線ヒーターに金でコーティングした反射器を取り入れました。

真空チャンバー用赤外線ヒーター

Fri, 10 Jul 2026 02:10:47 +0800

真空チャンバーを加熱するのをやめましょう。

半導体製造工場で働いたことがある人なら、この問題がどれほど面倒かわかるでしょう。ウェーハを加熱する必要はありますが、真空チャンバーをオーブンのように使ってしまってはいけません。

通常の赤外線ランプは、単なる電球のようなもので、熱をあらゆる方向に放出します。真空状態では、そのエネルギーは行き場を失い、装置の内壁にぶつかります。その結果、装置が過熱し、作業員が火傷を負う危険性があります。

真空 on Warm IR Spot Heating

真空対応型赤外線ヒーター

真空チャンバー用赤外線ヒーター

真空チャンバーを加熱するのをやめましょう。