http://warm-ir-heater-spot.com/ja/tags/%E6%B3%A2/ Recent content in 波 on Warm IR Spot Heating Hugo ja Thu, 04 Jun 2026 01:18:34 +0800 http://warm-ir-heater-spot.com/ja/posts/medium-wave-quartz-heater-tube/ Thu, 04 Jun 2026 01:18:34 +0800 http://warm-ir-heater-spot.com/ja/posts/medium-wave-quartz-heater-tube/ <p><img src="http://warm-ir-heater-spot.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="中波石英ヒーター管"></p> <p>300mmラインにおいて、フォトレジストのベイク性能はオーバーレイとCD均一性のゲートキーパーとなる。ソフトベイクまたはハードベイク中にウェーハ全体で数度の温度ずれが生じると、重要寸法が規格外となり、数時間分の作業が廃棄される可能性がある。ヒーターは設定温度に即座に到達し、振動なく保持し、チャンバー内へのパーティクル放出を絶対に起こしてはならない。</p>