反射器 on Warm IR Spot Heating

金製反射器付き赤外線ランプ

Tue, 21 Jul 2026 02:37:03 +0800

シャードの発生を防ぐ：ランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法

大量生産を行う半導体製造において、ランプが壊れるというのは、単なる面倒事や短時間の停止にとどまりません。それはまさに悪夢です。石英管が破裂すると、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハに降り注ぎます。一度だけでもそうなれば、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。
私たちは、このような事故を防ぐために、特別に金でコーティングされた赤外線ランプを開発しました。

ウェーハ硬化ランプ用反射器

Sat, 18 Jul 2026 02:10:34 +0800

ウェハーの硬化処理における熱の無駄遣いを止めましょう。
標準的な赤外線ランプには、問題点があります。それは、熱があらゆる方向に放出されてしまうということです。半導体の硬化処理を行う際、これは単なるエネルギーの無駄に過ぎません。反射板がない場合、その熱の大部分がウェハーではなく、装置の壁に当たってしまいます。これは大変厄介です。装置の内部が非常に高温になり、作業員が火傷したり、正確に動かすべき部品が変形してしまったりする可能性があります。