http://warm-ir-heater-spot.com/ja/tags/%E4%BF%9D%E6%9C%89%E8%80%85/ Recent content in 保有者 on Warm IR Spot Heating Hugo ja Fri, 26 Jun 2026 01:59:30 +0800 http://warm-ir-heater-spot.com/ja/posts/ceramic-lamp-holder-for-fab-heater/ Fri, 26 Jun 2026 01:59:30 +0800 http://warm-ir-heater-spot.com/ja/posts/ceramic-lamp-holder-for-fab-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-spot.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="ファブヒーター用セラミックランプホルダー"></p> <p>リソグラフィー工程においては、90℃での弱い<a href="https://o-yate.com">加熱処理</a>を行う際、温度が0.3℃でも変動してしまうと、全体の線幅にばらつきが生じてしまいます。温度の均一性は単なる好みではなく、必須の条件なのです。</p> <h3 id="技術的に重要な点">技術的に重要な点</h3> <p>私たちが<a href="https://henruite.com">開発</a>したこのセラミック製のランプホルダーは、フォトレジスト処理用の加熱装置として使われます。ここでは、熱管理が非常に重要であり、クリーンルーム内の粒子数も厳格に管理されます。短波長のハロゲンランプは、高純度のセラミック製のケースに収められており、安定した放射熱を供給するため、ウェーハ全体の温度差は±0.1℃以内に保たれます。</p> <p>セラミック製の界面はガス<a href="https://o-yate.net">放出</a>を防ぎ、また、ホルダーの形状も最適化されているため、影や熱勾配が発生しにくくなっています。その結果、再現性のある温度制御が<a href="https://goldisgood.com">実現</a>し、24時間365日稼働しても安定した温度が維持されます。</p> <h3 id="なぜ工場で活躍するのか">なぜ工場で活躍するのか</h3> <p>弱い加熱処理や強い加熱処理を行う際、熱管理はフォトレジストの感度と装置の処理速度の両方に合わせる必要があります。このホルダーによって加熱プロファイルが安定し、重要な寸法の管理も安定して行えます。</p>